MKS Granville Phillips 製程控制模組，用於 GP 370 真空計控制器的 6 個設定點。編號：370107
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MKS Granville Phillips 製程控制模組，用於 GP 370 真空計控制器的 6 個設定點。
MKS Granville Phillips 零件號：370107
這是 MKS Granville Phillips 製程控制模組，為 370 真空計控制器提供單刀雙擲繼電器，可透過（6 個數位設定點）或內建控制器進行控製手動超控開關。此過程控制模組有 6 個使用者可選通道。前 2 個通道分配給離子真空計。如果存在，通道 3 和 4 分配給 CGA 或 TCA； 5和6至CGB、TCB或CMB。
提供開關將通道 1 分配給 IG1、IG2 或兩者；通道 2 也是如此。有關製程控制卡（模組）的安裝步驟，請參閱說明手冊.pdf 第 16-27 頁。規格及使用方法請參考使用說明書第5章。 這僅是製程控制卡模組（帶有6 個設定點），MKS Granville Phillips 370 控制器、電纜和配件在此網站上單獨出售。控制器說明手冊可以在下面下載。
MKS Granville Phillips 零件號：370107
提供開關將通道 1 分配給 IG1、IG2 或兩者；通道 2 也是如此。有關製程控制卡（模組）的安裝步驟，請參閱說明手冊.pdf 第 16-27 頁。規格及使用方法請參考使用說明書第5章。 這僅是製程控制卡模組（帶有6 個設定點），MKS Granville Phillips 370 控制器、電纜和配件在此網站上單獨出售。控制器說明手冊可以在下面下載。
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