MKS Granville Phillips 过程控制模块，307 真空计控制器的 6 个设定点。PN：307017
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MKS Granville Phillips 零件编号：307017
这是 MKS Granville Phillips 过程控制模块，为 307 真空计控制器提供单刀双掷继电器，可由（6 个数字设定点）或内置手动超控开关控制。此过程控制模块有 6 个用户可选通道。前 2 个通道分配给离子计。如果存在，通道 3 和 4 分配给 CGA 或 TCA；5 和 6 分配给 CGB、TCB 或 CMB。提供开关将通道 1 分配给 IG1、IG2 或两者；通道 2 也是如此。所有六个通道均具有可选择的极性，可在设定点以上或以下激活。有关过程控制卡（模块）安装程序，请参阅说明手册第 16-27 页。有关规格和使用程序，请参阅说明手册第 5 章。这只是过程控制卡模块（带 6 个设定点），MKS Granville Phillips 307 控制器、电缆和配件在此网站上单独出售。 MKS Granville Phillips 307 真空计控制器说明手册.pdf 可在以下下载处下载：
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