MKS Granville Phillips 274 ホットカソード ヌード ベヤード アルパート イオンゲージ、2.75 インチ CF、デュアル トリア コーティング イリジウム、電子衝撃脱ガス、ピンガード。PN: 274023
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MKS Granville Phillips 部品番号: 274023
MKS Granville Phillips 274 ヌード ベヤード アルパート イオン化ゲージは、広範囲の動作圧力能力を備えた頑丈なオープン ゲージです。トリア コーティング イリジウム フィラメント、2.75 ConFlat フランジ、1×10-3 ～ 2×10-11 Torr の圧力範囲、最大ベークアウト温度: 450 °C。
MKS Granville Phillips 274 イオン化ゲージは、X 線限界が 2x10-11 Torr で、1 mTorr から 2x10-10 Torr までの信頼性の高い圧力測定を提供しますが、圧力が 2x10-10 Torr を超えるとパフォーマンスが低下します。 2x10-10 Torr 未満。 MKS Granville Phillips 274 は、X 線限界を 5x10-12 Torr まで下げる非常に薄いコレクターを使用しています。その結果、1m Torr から 5x10-11 Torr までの圧力を測定できますが、5x10-11 Torr 未満の圧力では性能が低下します。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出ている、適切に取り付けられたヌード ゲージは、局所的な真空圧力がチャンバー圧力と同じであるという点で、誤差が最も少なくなります。Granville Phillips ゲージは、Varian の Agilent XGS-600 ゲージ コントローラーと簡単にインターフェイスできるため、さまざまな真空システムに統合したり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。
MKS Granville Phillips 274 イオン化ゲージは、X 線限界が 2x10-11 Torr で、1 mTorr から 2x10-10 Torr までの信頼性の高い圧力測定を提供しますが、圧力が 2x10-10 Torr を超えるとパフォーマンスが低下します。 2x10-10 Torr 未満。 MKS Granville Phillips 274 は、X 線限界を 5x10-12 Torr まで下げる非常に薄いコレクターを使用しています。その結果、1m Torr から 5x10-11 Torr までの圧力を測定できますが、5x10-11 Torr 未満の圧力では性能が低下します。
グリッド構造が真空チャンバー内に突き出ている、適切に取り付けられたヌード ゲージは、局所的な真空圧力がチャンバー圧力と同じであるという点で、誤差が最も少なくなります。Granville Phillips ゲージは、Varian の Agilent XGS-600 ゲージ コントローラーと簡単にインターフェイスできるため、さまざまな真空システムに統合したり、スタンドアロンの圧力測定ツールとして使用したりできます。
通常、次の製品と連携します:
- MKS Granville Phillips モデル: 260、270、280、303、306、307 330、340、350 など。
- MKS Instruments モデル: 290、919、929
- Perkin Elmer モデル: DGC3
- Varian Agilent モデル: 831、836、842、844、845、880、971-0003、971-0014、971-1008、マルチゲージ、Varian 571 チューブK2471301、 XGS-600
- Veeco モデル: RG2、RG3、RG21、RG31、RG81、RG83、RG84、RG830、RG840、RG1000、RG1002
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