MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 1 至 50 sccm，15 针连接器，4 VCR 公头。PN：GM50A013501RMM020
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MKS 零件编号：GM50A013501RMM020。
MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出配件为 Swagelok® 4 VCR® 公头。它的满量程流量范围为 50 sccm，控制范围为 1 至 50 sccm，配有接地的 15 针 D 型微型连接器和 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。
多范围功能可通过基于 Web 浏览器的应用程序进行配置，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
多范围功能可通过基于 Web 浏览器的应用程序进行配置，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
Swagelok，VCR-TM Swagelok 公司
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