MKS GM50A 質量流量控制器 (MFC) 數位控制，範圍 10 至 500 sccm，15 針 D 型超小型，4 VCR 公頭。零件編號：GM50A013502RMM020
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MKS GM50A 質量流量控制器 (MFC) 數位控制，範圍 10 至 500 sccm，15 針 D 型超小型，4 VCR 公頭。
MKS 零件號碼：GM50A013502RMM020。
MKS GM50A 質量流量控制器能夠配置為控制各種安全輸送源氣體 (SDS)。 輸入和輸出接頭為 Swagelok® 4 VCR®。它具有 500 sccm 的滿量程流量範圍和 10 至 500 sccm 的控制範圍、帶接地的 15 針 D 型超小型連接器以及 0-5 VDC 流量輸入/輸出訊號。數位校準可提供 1% 的校準氣體設定點精度。典型的反應時間約為 500 毫秒。
多範圍功能可透過基於網路瀏覽器的應用程式進行配置，透過乙太網路電纜將 MFC 插入路由器或電腦即可存取該應用程式。電子診斷應用程式可讓使用者即時監控 MFC 的效能以及繪製資料和選擇變數。
MKS 零件號碼：GM50A013502RMM020。
多範圍功能可透過基於網路瀏覽器的應用程式進行配置，透過乙太網路電纜將 MFC 插入路由器或電腦即可存取該應用程式。電子診斷應用程式可讓使用者即時監控 MFC 的效能以及繪製資料和選擇變數。
世偉洛克，VCR-TM世偉洛克公司
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