MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，N
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MKS 零件编号：GM50A013501R5M020。
MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制 N2 或等效物，具有 50 sccm 的满量程流量范围和 1 至 50 sccm 的控制范围。它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号和 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。
多范围功能可通过基于 Web 浏览器的应用程序进行配置，只需将 MFC 插入路由器或通过以太网电缆连接到计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
多范围功能可通过基于 Web 浏览器的应用程序进行配置，只需将 MFC 插入路由器或通过以太网电缆连接到计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司
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