MKS GM50A マスフローコントローラ (MFC) デジタル制御、N
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MKS 部品番号: GM50A013501R5M020。
MKS GM50A マスフローコントローラは、N2 または同等のガスを制御するように構成されており、フルスケール フロー範囲は 50 sccm、制御範囲は 1 ～ 50 sccm です。 RS-485 シリアル通信ポート、0～5 VDC または 4～20 mA のフロー入力/出力信号、および Swagelok® 4 VCR® オス入力および出力フィッティングを備えています。一般的な応答時間は 500 ミリ秒程度です。デジタル キャリブレーションにより、キャリブレーション ガスの設定点精度は 1% になります。
マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
マルチレンジ機能は、MFC をイーサネット ケーブル経由でルーターまたはコンピューターに接続してアクセスする Web ブラウザー ベースのアプリケーションで設定できます。E-診断アプリケーションを使用すると、ユーザーは MFC のパフォーマンスをリアルタイムで監視できるほか、データをプロットして変数を選択することもできます。
Swagelok、VCR-TM Swagelok Company
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