Contrôleur de débit massique (MFC) à commande numérique MKS GM50A, N
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Numéro de pièce MKS : GM50A013501R5M020.
Le contrôleur de débit massique MKS GM50A est configuré pour contrôler le N2 ou équivalent, avec une plage de débit à pleine échelle de 50 sccm et une plage de contrôle de 1 à 50 sccm. Il dispose d'un port de communication série RS - 485, d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 VCC ou de 4 à 20 mA et de raccords d'entrée et de sortie Swagelok® 4 VCR® mâles. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes. L'étalonnage numérique permet d'obtenir une précision de 1 % du point de consigne sur le gaz d'étalonnage.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Les capacités multi-gammes peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en connectant le MFC à un routeur ou à un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à l'utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company
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