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MKS 控制卡片質量流量控制器 946 系列和雙質量流量控制器。編號：20000712

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<中心> MKS 控制卡片質量流量控制器 946 系列與雙質量流量控制器。
MKS 零件號碼：20000712。
MKS 控制卡質量流量控制器與 946 和雙質量流量控制器相容。
這些卡用於設計用於控制和顯示任何流量感測器的控制器。流量設定點可以透過前面板控制裝置或透過後面板模擬介面遠端調整。 946 真空系統控制器同時讀出與顯示控制多達 6 個感測器和儀表。

946-Manual.pdf (946-Manual.pdf, 1,842 Kb) [下載]

946-DataSheet.pdf (946-DataSheet.pdf, 427 Kb) [下載]

MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf (MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf, 3,070 Kb) [下載]

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