MKS 冷陰極真空計訊號纜線將 943 控制器連接到 HPS 423 I-Mag,50 英尺(15 公尺)。編號:100002395

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<中心> MKS 冷陰極真空計訊號電纜將 943 控制器連接到 HPS 423 I-Mag® 感知器,50 英尺(15 公尺)。
MKS 零件號碼:100002395。
這是一條 MKS 50 英尺長的冷陰極真空計訊號電纜,連接到 MKS 423 I-Mag® 冷陰極感測器的頂部和 MKS 943 冷陰極控制器的背面端口。這只是電纜,所有其他零件和配件都是可選的。

423 I-Mag® 感測器採用倒置磁控管設計,可在比傳統彭寧冷陰極感測器低得多的壓力下運行,使用適當的控制器可低至 10-11 Torr。這種增加的壓力範圍使 HPS® 冷陰極感測器非常適合 UHV 使用。 HPS® 冷陰極感測器的一個獨特設計特點是用於離子收集的第二個饋通。在普通的單饋通設計中,陽極和接地之間的任何電流洩漏都會導致壓力測量誤差。在雙饋通設計中,只有來自陰極的離子電流才有助於測量讀數,使其成為製程監控的理想選擇。

423 I-Mag® 感知器不會燒壞燈絲,因此不會被突然湧入的空氣損壞,並且能夠抵抗振動損壞。此外,無需調整發射電流或對儀表進行脫氣,從而縮短了對壓力變化的反應時間。如果需要烘烤,可以拆下磁鐵和感測器連接器,並將感測器烘烤至 400°C。

MKS-423-I-Mag-manual.pdf (MKS-423-I-Mag-manual.pdf, 191 Kb) [下載]

MKS_943-manual.pdf (MKS_943-manual.pdf, 603 Kb) [下載]

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