MKS 콜드 캐소드 진공 게이지 신호 케이블은 943 컨트롤러를 HPS 423 I-Mag에 연결합니다, 10피트(3m). PN: 100007873
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MKS 부품 번호: 100007873
이것은 MKS 10피트 길이의 콜드 캐소드 진공 게이지 신호 케이블로 MKS 423 I-Mag® 콜드 캐소드 센서 상단과 MKS 943 콜드 캐소드 컨트롤러의 후면 포트에 연결됩니다. 이것은 케이블만이며, 다른 모든 부품과 액세서리는 옵션입니다.
423 I-Mag® 센서는 역 마그네트론 설계를 사용하며 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 페닝 콜드 캐소드 센서보다 훨씬 낮은 압력에서 작동할 수 있으며, 10-11 Torr까지 낮출 수 있습니다. 이렇게 압력 범위가 증가하여 HPS® 콜드 캐소드 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 콜드 캐소드 센서의 고유한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 애노드와 접지 사이의 전류 누설로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 듀얼 피드스루 설계에서는 캐소드의 이온 전류만 측정 판독에 기여하므로 프로세스 모니터링에 이상적입니다.
423 I-Mag® 센서는 타버릴 필라멘트가 없으므로 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지를 탈기할 필요가 없어 압력 변화에 대한 반응 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C로 베이크할 수 있습니다.
423 I-Mag® 센서는 역 마그네트론 설계를 사용하며 적절한 컨트롤러를 사용하면 기존 페닝 콜드 캐소드 센서보다 훨씬 낮은 압력에서 작동할 수 있으며, 10-11 Torr까지 낮출 수 있습니다. 이렇게 압력 범위가 증가하여 HPS® 콜드 캐소드 센서는 UHV 사용에 이상적입니다. HPS® 콜드 캐소드 센서의 고유한 설계 특징은 이온 수집을 위한 두 번째 피드스루입니다. 일반적인 단일 피드스루 설계에서는 애노드와 접지 사이의 전류 누설로 인해 압력 측정 오류가 발생합니다. 듀얼 피드스루 설계에서는 캐소드의 이온 전류만 측정 판독에 기여하므로 프로세스 모니터링에 이상적입니다.
423 I-Mag® 센서는 타버릴 필라멘트가 없으므로 갑작스러운 공기 유입으로 인해 손상되지 않으며 진동 손상에 강합니다. 또한 방출 전류를 조정하거나 게이지를 탈기할 필요가 없어 압력 변화에 대한 반응 시간이 줄어듭니다. 베이크아웃이 필요한 경우 자석과 센서 커넥터를 제거하고 센서를 400°C로 베이크할 수 있습니다.
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