MKS 974B QuadMag 冷陰極感測器 KF-40,1 x 10-8 至 1500 Torr。編號:974B-92020

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<中心> MKS 974B QuadMag 冷陰極感測器 KF-40,1 x 10-8 至 1500 Torr。
MKS 零件號碼:974B-92020

MKS 974B QuadMag 冷陰極感測器屬於 MKS 970 系列,這是一個緊湊、低成本、通用感測器系列,採用一到四個感測器 - 冷陰極、MicroPirani™ 和壓電技術。結合這些感測技術可實現從大氣到 10-8 Torr 的寬測量範圍。除了尺寸小、範圍廣和成本較低之外,970 系列還可以透過數位通訊或作為自主模擬單元進行操作。

感測器測量範圍為 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直讀式絕對壓力感測器,可實現獨立於氣體的測量。該感測器具有獨特的溫度補償功能,可在較寬的測量範圍內實現高精度。 Piezo 的測量範圍為 10-1 至 1,500 Torr。 與傳統的皮拉尼真空計不同,MicroPirani™ 中的元件由一毫米見方的矽製成 晶片,允許在非常小的體積內進行測量。傳統的皮拉尼感測器具有測量 範圍從 10-3 到大約 100 Torr,在 10 Torr 以上迅速失去靈敏度。由於感測尺寸 MicroPirani™ 的一部分非常小,其範圍低至 10-5 Torr。該設計最大限度地減少了影響 對流,因此可以在任何位置操作而不影響精度,以簡化 安裝。感測器包括一個按鈕調零控制,可在壓力低於時使用 10-5 托。

MKS 974B QuadMag 冷陰極感測器具有數位通訊功能,可透過主機即時進行所有調整和監控。 MKS 974B 感測器支援 RS485 或 RS232 通訊作為標準功能。這款 974B QuadMag 冷陰極感測器在 15 針高密度 D-sub 公頭連接器上提供 1 至 9 伏特直流類比輸出訊號。感測器輸出在兩個感測器之間進行平滑處理,並在 5 至 15 時間內從兩個感測器讀取資料。 托爾範圍。

對於製程控制,974B 具有三個獨立的繼電器設定點。可以設定設定點的特徵, 透過數位連接埠進行調整和監控。與所有熱導率感測器一樣,MicroPiraniTM 對氣體類型敏感。壓電測量與氣體類型無關。 974B 提供數位洩漏偵測輸出,可測量 Piezo 和 MicroPirani™ 之間的差異讀數。這使其成為定位真空系統中的中度到細微洩漏的簡單解決方案。需要電源和顯示器的客戶可以使用本網站上出售的 974B DualTrans 和 PDR900 系列控制器。有關完整的規格和操作信息,請參閱下面的可用下載。

974-MANUAL_2.pdf (974-MANUAL_2.pdf, 4,233 Kb) [下載]

MKS-974-Cold-Cath-Transducer-Manual.pdf (MKS-974-Cold-Cath-Transducer-Manual.pdf, 3,227 Kb) [下載]

971_pinOut.pdf (971_pinOut.pdf, 213 Kb) [下載]

MKS-974-Cold-Cath-Transducer_DataSheet.pdf (MKS-974-Cold-Cath-Transducer_DataSheet.pdf, 1,037 Kb) [下載]

900seriesDS.pdf (900seriesDS.pdf, 567 Kb) [下載]

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