MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器 KF-25，RS232，绝对过程测量。PN：974B-21020
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MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器属于 MKS 970 系列，该系列是紧凑、低成本、通用的传感器系列，采用一到四个传感器 - 冷阴极、MicroPirani™ 和压电技术。结合这些传感技术，可实现从大气压到 10-8 Torr 的广泛测量范围。 970 系列除了体积小、范围广和成本低之外，还可通过数字通信或作为独立模拟单元进行操作。
传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。压电式是一种直读绝对压力传感器，允许测量独立于气体。该传感器包括独特的温度补偿，允许在宽测量范围内实现高精度。压电式的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对压电式执行自动归零功能。 与传统的皮拉尼压力表不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至大约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速降低。由于 MicroPirani™ 的传感部分尺寸非常小，因此其范围可低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作而不会影响准确性，从而简化了安装。传感器包括一个按钮零点控制，当压力低于 10-5 Torr 时可以使用。
带有数字通信功能的 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器允许通过主机实时进行所有调整和监控。MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间平滑，并从两个传感器读取 5 至 15 Torr 范围内的压力。
对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。可以通过数字端口设置、 调整和监控设定点的特性。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电式测量与气体类型无关。974B 提供数字泄漏检测输出，可测量压电式和 MicroPirani™ 之间的差分读数。这使其成为定位真空系统中中等到细小泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以将 974B DualTrans 与本网站上销售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。
传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。压电式是一种直读绝对压力传感器，允许测量独立于气体。该传感器包括独特的温度补偿，允许在宽测量范围内实现高精度。压电式的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对压电式执行自动归零功能。 与传统的皮拉尼压力表不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至大约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速降低。由于 MicroPirani™ 的传感部分尺寸非常小，因此其范围可低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作而不会影响准确性，从而简化了安装。传感器包括一个按钮零点控制，当压力低于 10-5 Torr 时可以使用。
带有数字通信功能的 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器允许通过主机实时进行所有调整和监控。MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间平滑，并从两个传感器读取 5 至 15 Torr 范围内的压力。
对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。可以通过数字端口设置、 调整和监控设定点的特性。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电式测量与气体类型无关。974B 提供数字泄漏检测输出，可测量压电式和 MicroPirani™ 之间的差分读数。这使其成为定位真空系统中中等到细小泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以将 974B DualTrans 与本网站上销售的 PDR900 系列控制器一起使用。有关完整规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。
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