MKS 974B QuadMag コールドカソードトランスデューサー KF-25、RS232、絶対プロセス測定。PN: 974B-21020
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MKS 974B QuadMag 冷陰極トランスデューサは、MKS 970 シリーズに属し、1 ～ 4 個のセンサー (冷陰極、MicroPirani™、ピエゾ技術) を使用するコンパクトで低コストの汎用トランスデューサ ファミリです。これらのセンシング技術を組み合わせることで、大気圧から 10-8 Torr までの幅広い測定範囲が可能になります。 970 シリーズは、小型で測定範囲が広く、コストが低いことに加え、デジタル通信または自律型アナログ ユニットとして操作できます。
トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。Piezo は直接読み取り式の絶対圧力センサーで、ガスに依存しない測定が可能です。センサーには独自の温度補正機能があり、広い測定範囲で高精度を実現できます。Piezo は 10-1 ～ 1,500 Torr を測定します。MicroPirani は、圧力が 10-2 Torr 未満の場合に Piezo の自動ゼロ機能を実行します。 従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニ センサーの測定範囲は 10-3 ～ 約 100 Torr で、10 Torr を超えると感度が急速に低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズが非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑える設計のため、精度を損なうことなくどの位置でも操作でき、設置が簡単です。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満のときに使用できるプッシュ ボタン ゼロ コントロールが含まれています。
デジタル通信機能を備えた MKS 974B QuadMag コールド カソード トランスデューサを使用すると、すべての調整と監視をホスト コンピュータ経由でリアルタイムに行うことができます。MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートしています。この 974B QuadMag コールド カソード トランスデューサは、オス 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルト DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサ出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取ります。
プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー セットポイントがあります。セットポイントの機能は、デジタル ポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。Piezo はガスの種類に関係なく測定します。974B は、Piezo と MicroPirani™ 間の差分読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システム内の中程度から微細なリークを見つけるためのシンプルなソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーで 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
トランスデューサの測定範囲は 10-5 ～ 1,500 Torr です。Piezo は直接読み取り式の絶対圧力センサーで、ガスに依存しない測定が可能です。センサーには独自の温度補正機能があり、広い測定範囲で高精度を実現できます。Piezo は 10-1 ～ 1,500 Torr を測定します。MicroPirani は、圧力が 10-2 Torr 未満の場合に Piezo の自動ゼロ機能を実行します。 従来のピラニ ゲージとは異なり、MicroPirani™ の要素は 1 ミリメートル四方のシリコン チップで作られているため、非常に小さな体積で測定を行うことができます。従来のピラニ センサーの測定範囲は 10-3 ～ 約 100 Torr で、10 Torr を超えると感度が急速に低下します。 MicroPirani™ の感知部分のサイズが非常に小さいため、範囲は 10-5 Torr までです。対流の影響を最小限に抑える設計のため、精度を損なうことなくどの位置でも操作でき、設置が簡単です。トランスデューサには、圧力が 10-5 Torr 未満のときに使用できるプッシュ ボタン ゼロ コントロールが含まれています。
デジタル通信機能を備えた MKS 974B QuadMag コールド カソード トランスデューサを使用すると、すべての調整と監視をホスト コンピュータ経由でリアルタイムに行うことができます。MKS 974B トランスデューサは、標準機能として RS485 または RS232 通信をサポートしています。この 974B QuadMag コールド カソード トランスデューサは、オス 15 ピン高密度 D-sub コネクタで 1 ～ 9 ボルト DC アナログ出力信号を提供します。トランスデューサ出力は 2 つのセンサー間で平滑化され、5 ～ 15 Torr の範囲で両方のセンサーから読み取ります。
プロセス制御用に、974B には 3 つの独立したリレー セットポイントがあります。セットポイントの機能は、デジタル ポートを通じて設定、調整、監視できます。すべての熱伝導率センサーと同様に、MicroPiraniTM はガスの種類に敏感です。Piezo はガスの種類に関係なく測定します。974B は、Piezo と MicroPirani™ 間の差分読み取り値を測定するデジタル リーク検出出力を提供します。これにより、真空システム内の中程度から微細なリークを見つけるためのシンプルなソリューションになります。電源とディスプレイの両方が必要なお客様は、この Web サイトで販売されている PDR900 シリーズ コントローラーで 974B DualTrans を使用できます。完全な仕様と操作情報については、以下の利用可能なダウンロードを参照してください。
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