MKS 937B ハーフラック コンビネーション真空ゲージ コントローラー、カードなし、RS232 および RS485、6 チャンネル。PN: 937B-US-NANANA-NA
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MKS 部品番号: 937B-US-NANANA-NA。
MKS 937B デジタル コンビネーション 真空ゲージ コントローラは、最大 6 個の真空圧力センサーを同時に操作します。この非常に柔軟な真空ゲージ コントローラは、冷陰極、熱陰極、標準ピラニ、対流ピラニ、Baratron® 静電容量マノメータ、絶対ピエゾ センサーなど、幅広いセンサー技術をサポートし、超高真空から大気圧を超える測定範囲に対応します。
937B コントローラは、汎用性、信頼性、経済性を考慮して設計されています。大きくて読みやすい液晶ディスプレイは、最大 6 つのセンサーを同時に表示します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュ ボタン式のフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。このコントローラでは、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。937B は、最大 3 つのホット カソードまたはコールド カソード タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。
設定ポイント: 12 個の独立して調整可能な設定ポイントが標準です。これにより、プロセス関連機能を自動化できます。設定ポイントの値は不揮発性で、電源を切ったり停電したりしても変わりません。チャンネル設定画面で簡単に表示および構成できます。 937B には、希望する圧力で冷陰極または熱陰極ゲージの電源をオフまたはオンにする調整可能な制御設定ポイントも含まれており、センサーの寿命を延ばします。
リーク テスト: リーク テスト モードには、システム内のリークの特定に役立つバー グラフと可変の可聴アラートが含まれています。この機能は、冷陰極、熱陰極、ピラニ、対流センサーで動作します。トレーサー ガスの感度の違いを利用することで、システムの大まかなリークの特定に役立つ優れたツールとなります。
アナログ出力信号: コントローラーは、背面パネル コネクタからアクセスできるアナログ出力信号を提供します。3 種類のアナログ信号が利用可能です。未処理のアナログ信号は、最も速い応答時間を実現するために使用されます。対数出力電圧は、0.6 ボルトが 1 桁の圧力に相当するようにスケーリングされます。最大 3 つのセンサーを組み合わせて、10-11 ～ 20,000 Torr の範囲で複合出力を作成できます。
デジタル信号: アナログ出力に加えて、937B は RS232 または RS485 用の組み込み接続を使用して、直接コンピュータ通信用にデジタル通信を行います。937B シャーシの通信スロットには、オプションの Profibus DPV1 ボードを装着できます。937B は、これらのポートのいずれかを使用してホスト コンピュータと通信できます。設定ポイントのリモート制御や冷陰極高電圧の無効化は、通信オプションで利用できる多くの機能の一部です。MKS 937B 用の信号ケーブルとオプションのカードは、この Web サイトで入手できます。
937B コントローラは、汎用性、信頼性、経済性を考慮して設計されています。大きくて読みやすい液晶ディスプレイは、最大 6 つのセンサーを同時に表示します。バックライト付き LCD ディスプレイ、直感的なメニュー、シンプルなプッシュ ボタン式のフロント パネルにより、937B のセットアップが簡単になります。このコントローラでは、各センサー カード スロットで任意のセンサー カードを使用できます。937B は、最大 3 つのホット カソードまたはコールド カソード タイプのゲージ、または最大 6 つのゲージ接続用の 3 つのデュアル センサー カードで構成できます。
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