MKS 722C 汎用バラトロン絶対静電容量マノメーター、20000 Torr フルスケール、VCR 4 真空フィッティング、9 ピン タイプ D。PN: 722C24TCD2FA
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今日のプロセス環境では、低コストで正確で再現性があり信頼性の高い測定を提供する小型の圧力測定機器が必要です。MKS は、静電容量マノメーターの設計と製造技術に関する専門知識を、コンパクトな 722C 汎用絶対 Baratron® 静電容量マノメーターの開発に応用しました。722C の柔軟な設計により、レトロフィット アプリケーションだけでなく新しい機器の設計にも最適なソリューションとなっています。堅牢なセンサー構造により、高い過圧許容度が提供され、時折発生するライン圧力スパイクによるエラーが軽減されます。すべてのセンサーの濡れ面は、多くのプロセスガス1との最大限の互換性を確保するために、インコネル®で作られています。高度な技術と厳格なプロセス制御により、すべての濡れ面のクリーンで滑らかな仕上げ（=10 Ra）が保証されます。信号調整回路は、表面実装技術の最新技術を使用して組み立てられています。すべてのトランスデューサーには、2年間の完全保証が付いています。
これらのリストは、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、20,000 Torrフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4メス真空フランジ接続を備えたMKSタイプ722C汎用静電容量マノメータ用で、MKS部品番号は722C24TCD2FAです。
互換性のあるコントローラとケーブル:
これらのリストは、9ピンDサブミニチュア信号コネクタ、20,000 Torrフルスケール最大真空圧力読み取り値、VCR 4メス真空フランジ接続を備えたMKSタイプ722C汎用静電容量マノメータ用で、MKS部品番号は722C24TCD2FAです。
互換性のあるコントローラとケーブル:
- P102061 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル 9 ピン ケーブル CB2000S-2-M1
- P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源電源およびデジタル読み出し容量マノメータ コントローラ
- P1010127 - Ideal Vacuum Dual Capacitance Manometer Controller (DCM)、電源およびデジタル圧力読み出し
- 9 ピン D-sub コネクタによる 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力
- ガスの種類や組成に関係なくチャンバーの全圧を直接測定
- 広い動作温度範囲で高精度
- 45 psia または 2 倍フルスケール (いずれか大きい方) の過圧制限により、ゼロ再現性やパフォーマンスが低下しません
- すべての濡れたセンサー表面は =10 に微細仕上げされていますRa により、腐食が進行する介在物を排除
- マノメータのサイズが小さくなるため、システム全体のサイズが縮小されます
- 耐腐食性 - すべて金属製で溶接された構造のため、媒体にさらされるのはインコネルとステンレス鋼のみです
- 以前の 722 Baratron 静電容量マノメータと互換性のあるドロップイン交換品
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