MKS 627H 0.05 Torr 加热 45 °C,绝对 Baratron 电容压力计,真空接头 VCR 8 母头,精度为读数的 0.15%,垂直校准,PN:627HU5TBD1B
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MKS 零件编号 PN:627HU5TBD1B。
627H Baratron® 电容压力计加热至 45°C,精度为读数的 0.12%,并包括更新的温度控制电子设备,以提供卓越的长期稳定性和可重复性。此电容压力计的全量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar),以适应当今较低的工艺压力。基于成熟的 Baratron 电容压力计技术,传感器的湿润表面采用 Inconel® 材料,具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢封装提供适用于洁净室的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换,并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容电源/读出设备一起使用。
这些列表适用于 MKS 627H 型电容压力计,加热至 45°C,具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器,0.05 Torr 满量程最大真空压力读数值,VCR 8 母真空法兰连接,读数精度为 0.15%,具有垂直校准,MKS 部件号为 627HU5TBD1B。
兼容的控制器和电缆:
这些列表适用于 MKS 627H 型电容压力计,加热至 45°C,具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器,0.05 Torr 满量程最大真空压力读数值,VCR 8 母真空法兰连接,读数精度为 0.15%,具有垂直校准,MKS 部件号为 627HU5TBD1B。
兼容的控制器和电缆:
- P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读出电缆 15 针 Y 型电缆的理想真空电缆,相当于 CB2000S-1-M1
- P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器
- P1010127 - Ideal Vacuum 双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数
- 出色的长期稳定性
- 读数精度百分比,可在较低压力范围内提供更精确的输出信号
- 全量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar),可精确测量低压过程
- 全 Inconel 耐腐蚀湿润表面
- 更快预热时间
- 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态
- 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容
- 直接测量总压力,不受气体成分影响
- 高过压等级,提高可靠性
- 适用于洁净室的不锈钢封装
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