MKS 627H 0.05 Torr 加热 45 °C,绝对 Baratron 电容压力计,真空接头 VCR 8 母头,精度为读数的 0.15%,垂直校准,PN:627HU5TBD1B

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MKS 627H 0.05 Torr 加热至 45 °C,绝对 Baratron 电容压力计,真空接头 VCR 8 母头,精度为读数的 0.15%,垂直校准。
MKS 零件编号 PN:627HU5TBD1B。

627H Baratron® 电容压力计加热至 45°C,精度为读数的 0.12%,并包括更新的温度控制电子设备,以提供卓越的长期稳定性和可重复性。此电容压力计的全量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar),以适应当今较低的工艺压力。基于成熟的 Baratron 电容压力计技术,传感器的湿润表面采用 Inconel® 材料,具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢封装提供适用于洁净室的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换,并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容电源/读出设备一起使用。

这些列表适用于 MKS 627H 型电容压力计,加热至 45°C,具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器,0.05 Torr 满量程最大真空压力读数值,VCR 8 母真空法兰连接,读数精度为 0.15%,具有垂直校准,MKS 部件号为 627HU5TBD1B。

兼容的控制器和电缆: 产品特点:
  • 出色的长期稳定性
  • 读数精度百分比,可在较低压力范围内提供更精确的输出信号
  • 全量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar),可精确测量低压过程
  • 全 Inconel 耐腐蚀湿润表面
  • 更快预热时间
  • 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态
  • 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容
  • 直接测量总压力,不受气体成分影响
  • 高过压等级,提高可靠性
  • 适用于洁净室的不锈钢封装

MKS-Baratron-627H_Manual.pdf (MKS-Baratron-627H_Manual.pdf, 556 Kb) [下载]

MKS-Baratron-627H_Datasheet.pdf (MKS-Baratron-627H_Datasheet.pdf, 2,143 Kb) [下载]

MKS-Baratron-627_Dimensions.pdf (MKS-Baratron-627_Dimensions.pdf, 125 Kb) [下载]

MKS-Baratron-626-627-628_pin-out.pdf (MKS-Baratron-626-627-628_pin-out.pdf, 22 Kb) [下载]

MKS_SelectionGuide.pdf (MKS_SelectionGuide.pdf, 848 Kb) [下载]

Dual_Capacitance_Manometer_Gauge_Controller_P1010127_User_Manual.pdf (Dual_Capacitance_Manometer_Gauge_Controller_P1010127_User_Manual.pdf, 4,172 Kb) [下载]

PDR2000man.pdf (PDR2000man.pdf, 210 Kb) [下载]

Pdr2000ds.pdf (Pdr2000ds.pdf, 121 Kb) [下载]

MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf (MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf, 3,070 Kb) [下载]

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