MKS 627H 0.05 Torr 加熱 45 °C,絕對緩速管電容壓力計,真空接頭 VCR 8 母頭,精度 0.15% 讀數,垂直校準,PN:627HU5TBD1B

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MKS 627H 0.05 Torr 加熱 45 °C,絕對 Baratron 電容壓力計,真空接頭 VCR 8 母頭,讀數精度 0.15%,垂直校準。
MKS 零件號 PN:627HU5TBD1B。

627H Baratron® 電容壓力計可加熱至 45°C,精確至讀數的 0.12%,並包含更新的溫度控制電子裝置,可提供卓越的長期穩定性和可重複性。此電容壓力計的滿量程範圍低至 20 mTorr (0.03 mbar),以適應當今較低的製程壓力。 該感測器基於成熟的 Baratron 電容壓力計技術,其潤濕表面採用 Inconel® 材料,具有出色的耐腐蝕性氣體性能。現代不銹鋼包裝提供了無塵室相容的產品。本產品可與早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 電容壓力計互換,並可與 MKS 電源、顯示單元和壓力控制器或其他相容的電源/讀出設備一起使用。

這些清單適用於加熱至 45 °C 的 MKS 627H 型電容壓力計,具有帶螺紋鎖的 15 針 D 型超小型訊號連接器、0.05 Torr 滿量程最大真空壓力讀數值、VCR 8 母真空法蘭連接,讀數精度為0.15%,具有垂直校準,MKS 零件號碼為627HU5TBD1B。

相容的控制器和電纜: 產品特點:
  • 優異的長期穩定性
  • 在較低壓力範圍內獲得更精確輸出訊號的讀數精度百分比
  • 滿量程範圍低至 20 mTorr (0.03 mbar),可精確測量低壓製程
  • 全 Inconel 耐腐蝕潤濕表面
  • 更快的預熱時間
  • 溫度和加熱器控制電路的視覺和電氣狀態
  • 與早期的 Baratron 電容壓力計、MKS 電源/讀出模組和壓力控制器相容
  • 直接測量總壓力,與氣體成分無關
  • 高過壓等級可提高可靠性
  • 與無塵室相容的不鏽鋼封裝

MKS-Baratron-627H_Manual.pdf (MKS-Baratron-627H_Manual.pdf, 556 Kb) [下載]

MKS-Baratron-627H_Datasheet.pdf (MKS-Baratron-627H_Datasheet.pdf, 2,143 Kb) [下載]

MKS-Baratron-627_Dimensions.pdf (MKS-Baratron-627_Dimensions.pdf, 125 Kb) [下載]

MKS-Baratron-626-627-628_pin-out.pdf (MKS-Baratron-626-627-628_pin-out.pdf, 22 Kb) [下載]

MKS_SelectionGuide.pdf (MKS_SelectionGuide.pdf, 848 Kb) [下載]

Dual_Capacitance_Manometer_Gauge_Controller_P1010127_User_Manual.pdf (Dual_Capacitance_Manometer_Gauge_Controller_P1010127_User_Manual.pdf, 4,172 Kb) [下載]

PDR2000man.pdf (PDR2000man.pdf, 210 Kb) [下載]

Pdr2000ds.pdf (Pdr2000ds.pdf, 121 Kb) [下載]

MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf (MKS-Granvile-Phillips-Vacuum-Measurement-Products_Brochure.pdf, 3,070 Kb) [下載]

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