MKS 627H 0.05 Torr 가열 45 °C, 절대 Baratron Capacitance Manometer, 진공 피팅 VCR 8 Female, 정확도 판독값의 0.15%, 수직 교정, PN: 627HU5TBD1B
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MKS 부품 번호 PN: 627HU5TBD1B.
627H Baratron® 정전식 압력계는 45°C까지 가열되고 정확도는 판독값의 0.12%이며, 우수한 장기 안정성과 반복성을 제공하기 위해 업데이트된 온도 제어 전자 장치가 포함되어 있습니다. 이 정전식 압력계는 오늘날의 낮은 공정 압력을 수용하기 위해 20 mTorr(0.03 mbar)까지의 전체 스케일 범위에서 사용할 수 있습니다. 확립된 Baratron 정전식 압력계 기술을 기반으로, 센서의 습윤 표면은 부식성 가스에 대한 뛰어난 내성을 위해 Inconel®입니다. 현대적인 스테인리스 스틸 패키지는 클린룸과 호환되는 제품을 제공합니다. 이 제품은 이전의 627A, 627B, 627D 및 627F Baratron 정전식 압력계와 호환되며 MKS 전원 공급 장치, 디스플레이 장치 및 압력 컨트롤러 또는 기타 호환 전원 공급 장치/판독 장치와 함께 사용할 수 있습니다.
이 목록은 45°C로 가열되고, Thread Lock이 있는 15핀 D-초소형 신호 커넥터, 0.05 Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결, 판독 정확도 0.15%, 수직 교정이 있으며 MKS 부품 번호 627HU5TBD1B인 MKS 유형 627H 정전식 압력계에 대한 것입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
이 목록은 45°C로 가열되고, Thread Lock이 있는 15핀 D-초소형 신호 커넥터, 0.05 Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, VCR 8 암 진공 플랜지 연결, 판독 정확도 0.15%, 수직 교정이 있으며 MKS 부품 번호 627HU5TBD1B인 MKS 유형 627H 정전식 압력계에 대한 것입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
- P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일
- P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 커패시턴스 압력계 컨트롤러
- P1010127 - Ideal Vacuum 듀얼 커패시턴스 압력계 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독
- 뛰어난 장기 안정성
- 낮은 압력 범위에서 더 정확한 출력 신호를 위한 판독 정확도 백분율
- 저압 공정의 정밀한 측정을 위한 20mTorr(0.03mbar)의 전체 범위
- 모든 인코넬 부식 방지 습윤 표면
- 더 빠른 예열 시간
- 온도 및 히터 제어 회로의 시각적 및 전기적 상태
- 이전 Baratron 정전식 압력계, MKS 전원 공급/판독 모듈 및 압력 컨트롤러와 호환
- 가스 구성과 무관하게 총 압력을 직접 측정
- 높은 과압 정격으로 신뢰성 향상
- 클린룸 호환 스테인리스 스틸 패키지
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