MKS 627H 0.05 Torr 加熱 45 °C、絶対バラトロン静電容量マノメーター、真空フィッティング VCR 8 メス、精度 0.15% 読み取り値、垂直校正、PN: 627HU5TBD1B
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MKS 部品番号 PN: 627HU5TBD1B。
627H Baratron® 静電容量マノメーターは 45°C に加熱され、精度は読み取り値の 0.12% で、優れた長期安定性と再現性を提供する最新の温度制御電子機器が搭載されています。この静電容量マノメーターは、今日の低いプロセス圧力に対応するために、20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲で利用できます。確立された Baratron 静電容量マノメータ技術に基づき、センサーの濡れ面は腐食性ガスに対する優れた耐性を持つ Inconel® です。最新のステンレス鋼パッケージはクリーンルーム対応製品です。この製品は、以前の 627A、627B、627D、および 627F Baratron 静電容量マノメータと互換性があり、MKS 電源、ディスプレイ ユニット、圧力コントローラ、またはその他の互換性のある電源/読み出しデバイスで使用できます。
これらのリストは、45 °C に加熱され、スレッド ロック付きの 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、フルスケール最大真空圧力読み取り値 0.05 Torr、VCR 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.15% の精度、垂直キャリブレーションを備え、MKS 部品番号 627HU5TBD1B の MKS タイプ 627H 静電容量マノメータです。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
これらのリストは、45 °C に加熱され、スレッド ロック付きの 15 ピン D サブミニチュア信号コネクタ、フルスケール最大真空圧力読み取り値 0.05 Torr、VCR 8 メス真空フランジ接続、読み取り値の 0.15% の精度、垂直キャリブレーションを備え、MKS 部品番号 627HU5TBD1B の MKS タイプ 627H 静電容量マノメータです。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
- P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル用の理想的な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等
- P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し容量マノメーター コントローラー
- P1010127 - Ideal Vacuum Dual Capacitance Manometer Controller (DCM)、電源、デジタル圧力読み出し
- 優れた長期安定性
- 低圧範囲でより正確な出力信号を実現する読み取り精度のパーセント
- 低圧プロセスを正確に測定するための 20 mTorr (0.03 mbar) までのフルスケール範囲
- オールインコネルの耐腐食性濡れ面
- より高速ウォームアップ時間
- 温度およびヒーター制御回路の視覚的および電気的状態
- 以前の Baratron 静電容量マノメーター、MKS 電源/読み出しモジュール、および圧力コントローラーと互換性があります
- ガス組成に関係なく、全圧力を直接測定します
- 信頼性を向上させる高い過圧定格
- クリーンルーム対応のステンレススチール パッケージ
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