MKS 626D 20 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力计传感器，真空接头 VCR 8 母头，PN：626D21TBE
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MKS 626D 不加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压，并提供与压力成线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。此模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪器或任何满足这些要求的仪器连接。压力/真空的变化通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定。这种电容变化通过专利信号调节电子电路转换为可用输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供极快的响应速度（在许多情况下小于 20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、极高的分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性以及双壁焊接结构，以确保操作员的安全。传感器本身可以承受 45 psia (3.1 bar) 的反复暴露而不会发生永久性退化或移位，使其几乎可以在任何工艺系统中运行。MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的满量程压力/真空范围从 0.1 到 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。
此列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，具有 15 针 D 型超小型信号连接器、20 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，MKS 零件编号为 626D21TBE。
兼容的控制器和电缆：
此列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，具有 15 针 D 型超小型信号连接器、20 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接，MKS 零件编号为 626D21TBE。
兼容的控制器和电缆：
- P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读出电缆 15 针 Y 型电缆的理想真空电缆，相当于 CB2000S-1-M1
- P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器
- P1010127 - Ideal Vacuum 双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数
- 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器
- 直接测量腔室总压力，不受气体类型或成分的影响
- 长期输出稳定性，实现最先进的工艺重复性
- 基本传感器采用 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构，几乎在任何化学品中运行都不会损坏环境
- 高过压限制可确保系统发生故障时的可靠性
- 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量
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