MKS 626D 100 Torr Baratron 绝对电容压力计，真空压力表传感器，真空配件 KF-16，626D12TDE
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MKS 零件编号：626D12TDE。
MKS 626D 未加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的模拟、基于电容的高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压并提供与压力成线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。此模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪器或任何满足这些要求的仪器连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。该电容变化通过专利信号调节电子电路转换为可用输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应（在许多情况下小于 20 毫秒）、低滞后、出色的重复性、非常高的分辨率（达到满量程的 0.001%）、极高的耐腐蚀性以及双壁焊接结构以确保操作员安全。传感器本身可以承受 45 psia (3.1 bar) 的反复暴露而不会发生永久性退化或移位，使其几乎可以在任何工艺系统中运行。MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的满量程压力/真空范围从 0.1 到 1000 Torr，适用于许多工业、电子和研究应用。
此列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，具有 15 针 D 型超小型信号连接器、100 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，MKS 零件编号为 626D12TDE。
兼容的控制器和电缆：
此列表适用于 MKS 626D 型电容压力计，具有 15 针 D 型超小型信号连接器、100 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接，MKS 零件编号为 626D12TDE。
兼容的控制器和电缆：
- P102063 - 适用于 MKS PDR 2000 电源和数字读出电缆 15 针 Y 型电缆的理想真空电缆，相当于 CB2000S-1-M1
- P102062 - MKS PDR 2000 数字电源和数字读数电容压力计控制器
- P1010127 - Ideal Vacuum 双电容压力计控制器 (DCM)、电源和数字压力读数
- 0 至 10 VDC 比例模拟输出，带 15 针 D-sub 连接器
- 直接测量腔室总压力，不受气体类型或成分的影响
- 长期输出稳定性，实现最先进的工艺重复性
- 基本传感器采用 Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构，几乎在任何化学品中运行都不会损坏环境
- 高过压限制可确保系统发生故障时的可靠性
- 以读数百分比指定，以获得最佳精度并提高工艺产量
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