MKS 626D 100 Torr Baratron 絕對電容壓力計、真空壓力表感測器、真空接頭 KF-16、626D12TDE
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MKS 626D 100 Torr Baratron 絕對電容壓力計、真空壓力表感測器、真空接頭 KF-16。
MKS 零件號：626D12TDE。
MKS 626D 不加熱絕對 Baratron® 電容壓力計是最新的基於電容的模擬高性能真空和壓力感測器。它們需要 ±15 VDC 輸入電壓，並提供與壓力線性關係的高電平 0-10 VDC 類比輸出訊號。此類比輸出可與 MKS PDR2000 壓力控制器、MKS 電源/顯示儀表或任何符合這些要求的儀表連接。透過測量感測器隔膜和相鄰電極盤之間的電容變化來確定壓力/真空的變化。這種電容變化透過專利的訊號調節電子電路轉換為可用的輸出。傳壁式焊接結構，確保操作員安全。感測器本身可以承受重複暴露於 45 psia (3.1 bar) 的壓力下，而不會永久退化或移位，使其幾乎可以在任何製程系統中運作。 MKS 626D Baratron 電容壓力計在環境條件下運作。它們的全量程壓力/真空範圍為 0.1 至 1000 Torr，適用於許多工業、電子和研究應用。
這些清單適用於 MKS 626D 型電容壓力計，該壓力計具有 15 針 D 型超小型訊號連接器、100 Torr 滿量程最大真空壓力讀數值、KF-16 真空法蘭連接，並且 MKS 零件號為 626D12TDE。
相容的控制器和電纜：
MKS 零件號：626D12TDE。
這些清單適用於 MKS 626D 型電容壓力計，該壓力計具有 15 針 D 型超小型訊號連接器、100 Torr 滿量程最大真空壓力讀數值、KF-16 真空法蘭連接，並且 MKS 零件號為 626D12TDE。
相容的控制器和電纜：
- P102063 - 適用於MKS PDR 2000 電源和數位讀出電纜15 針Y 型電纜的理想真空電纜，相當於CB2000S-1-M1
- P102062 - MKS PDR 2000 數位電源與數位讀出電容壓力計控制器
- P1010127 - 理想真空雙電容壓力計控制器(DCM )、電源和數位壓力讀數
- 0 至 10 VDC 比例類比輸出，搭配 15 針 D-sub 連接器
- 直接測量腔室總壓力，與氣體類型或成分無關
- 長期輸出穩定性，實現最先進的製程可重複性
- 基礎感測器的 Inconel® 和 Incoloy® 鎳合金結構幾乎在任何化學環境中都不會損壞
- 高超壓限制可確保系統發生故障時的可靠性
- 以讀數百分比指定，以獲得最佳準確度並提高製程產量
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