MKS 626D 100 Torr Baratron 절대 용량 압력계, 진공 압력 게이지 센서, 진공 피팅 KF-16, 626D12TDE
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MKS 부품 번호: 626D12TDE.
MKS 626D 비가열 절대 Baratron® 용량 압력계는 최신 아날로그, 용량 기반, 고성능 진공 및 압력 변환기입니다. 이 제품은 ±15 VDC 입력 전압이 필요하고 압력에 선형적인 고수준 0-10 VDC 아날로그 출력 신호를 제공합니다. 이 아날로그 출력은 MKS PDR2000 압력 컨트롤러, MKS 전원 공급/디스플레이 기기 또는 이러한 요구 사항을 충족하는 모든 기기와 인터페이스할 수 있습니다. 압력/진공의 변화는 센서의 다이어프램과 인접한 전극 디스크 사이의 정전용량 변화를 측정하여 결정됩니다. 이 정전용량 변화는 특허받은 신호 조절 전자 회로에 의해 사용 가능한 출력으로 변환됩니다. 센서의 방사형 장력 Inconel® 다이어프램은 매우 빠른 응답(대부분의 경우 20msec 미만), 낮은 히스테리시스, 뛰어난 반복성, 매우 높은 분해능(전체 규모의 0.001%), 매우 높은 내식성, 작업자의 안전을 위한 이중벽 용접 구조를 제공합니다. 센서 자체는 영구적인 저하나 이동 없이 45psia(3.1bar)에 반복적으로 노출되어 거의 모든 공정 시스템에서 작동할 수 있습니다. MKS 626D Baratron 정전용량 마노미터는 주변 조건에서 작동합니다. 0.1~1000Torr의 전체 규모 압력/진공 범위에서 사용할 수 있으며 많은 산업, 전자 및 연구 응용 분야에 적합합니다.
이 목록은 15핀 D-초소형 신호 커넥터, 100 Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖추고 MKS 부품 번호 626D12TDE인 MKS 유형 626D 용량 압력계에 대한 것입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
이 목록은 15핀 D-초소형 신호 커넥터, 100 Torr 전체 스케일 최대 진공 압력 판독 값, KF-16 진공 플랜지 연결부를 갖추고 MKS 부품 번호 626D12TDE인 MKS 유형 626D 용량 압력계에 대한 것입니다.
호환 컨트롤러 및 케이블:
- P102063 - MKS PDR 2000 전원 공급 장치 및 디지털 판독 케이블용 Ideal Vacuum 케이블 15핀 Y 케이블, CB2000S-1-M1과 동일
- P102062 - MKS PDR 2000 디지털 전원 공급 장치 및 디지털 판독 커패시턴스 마노미터 컨트롤러
- P1010127 - Ideal Vacuum 듀얼 커패시턴스 마노미터 컨트롤러(DCM), 전원 공급 장치 및 디지털 압력 판독
- 15핀 D-sub 커넥터가 있는 0~10VDC 비례 아날로그 출력
- 가스 유형이나 구성에 관계없이 챔버 총 압력을 직접 측정
- 최첨단 공정 반복성을 위한 장기 출력 안정성
- 기본 센서의 Inconel® 및 Incoloy® 니켈 합금 구조는 사실상 모든 화학 물질에서 손상 없이 작동합니다. 환경
- 높은 과압 한계는 시스템 오류 시 안정성을 보장합니다.
- 최고의 정확성과 향상된 공정 수율을 위해 판독값의 백분율로 지정
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