MKS 622D 10 Torr Baratron 絶対静電容量マノメーター、真空フィッティング 1/2 インチ チューブ外径、端子ブロック コネクタ、PN 622D11TAE
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MKS 622D 非加熱絶対 Baratron® 静電容量マノメーターは、最新のアナログ、静電容量ベースの高性能真空および圧力トランスデューサーです。±15 VDC 入力電圧を必要とし、圧力に比例する高レベル 0～10 VDC アナログ出力信号を提供します。このアナログ出力は、MKS PDR2000 圧力コントローラー、MKS 電源/ディスプレイ機器、またはこれらの要件を満たす任意の機器とインターフェイスできます。圧力/真空の変化は、センサーのダイヤフラムと隣接する電極ディスク間の静電容量の変化を測定することで判定されます。この静電容量の変化は、特許取得済みの信号調整電子回路によって使用可能な出力に変換されます。センサー内の放射状に張られたインコネル®ダイヤフラムは、非常に高速な応答 (多くの場合 20 ミリ秒未満)、低ヒステリシス、優れた再現性、非常に高い分解能 (フルスケールの 0.001% まで)、非常に高い耐腐食性、およびオペレーターの安全性のための二重壁溶接構造を提供します。センサー自体は、45 psia (3.1 bar) への繰り返しの暴露に耐えることができ、永久的な劣化やシフトがないため、事実上あらゆるプロセス システムで動作できます。MKS 622D Baratron 静電容量マノメーターは、周囲条件で動作します。フルスケールの圧力/真空範囲は 0.1 ～ 1000 Torr で、多くの産業、電子、研究アプリケーションに適しています。
これらのリストは、端子ブロック コネクタ、10 Torr フルスケール最大真空圧力読み取り値、1/2 インチ OD チューブ真空接続を備え、MKS 部品番号 622D11TAE を持つ MKS タイプ 622D 静電容量マノメータ用です。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
これらのリストは、端子ブロック コネクタ、10 Torr フルスケール最大真空圧力読み取り値、1/2 インチ OD チューブ真空接続を備え、MKS 部品番号 622D11TAE を持つ MKS タイプ 622D 静電容量マノメータ用です。
互換性のあるコントローラーとケーブル:
- P102063 - MKS PDR 2000 電源およびデジタル読み出しケーブル用の理想的な真空ケーブル 15 ピン Y ケーブル、CB2000S-1-M1 と同等
- P102062 - MKS PDR 2000 デジタル電源およびデジタル読み出し容量マノメーター コントローラー
- P1010127 - Ideal Vacuum Dual Capacitance Manometer Controller (DCM)、電源、デジタル圧力読み出し
- 端子台コネクタによる 0 ～ 10 VDC 比例アナログ出力
- ガスの種類や組成に関係なくチャンバーの全圧を直接測定
- 最先端のプロセス再現性を実現する長期的な出力安定性
- 基本センサーの Inconel® および Incoloy® ニッケル合金構造は、事実上あらゆる化学薬品で損傷なく動作します環境
- 高い過圧制限により、システム障害時の信頼性が確保されます
- 読み取り値のパーセントで指定され、最高の精度とプロセス収率の向上が実現します
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