MKS 247 247D 4 チャンネル マスフロー コントローラー電源および読み出し。PN: 247D

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MKS タイプ 247 4 チャンネル マス フロー コントローラ電源および読み出し装置。
MKS 部品番号: 247D。

MKS タイプ 247 電源/読み出し装置は、あらゆるフロー トランスデューサを制御および表示するために設計されています。流量設定ポイントは、フロント パネル コントロールまたはリア パネルのアナログ インターフェイスを介してリモートで調整できます。247 は、4 チャンネル/順次選択可能な単一の読み出し装置です。マス フロー コントローラおよびマス フロー読み出し装置 179、180、579、1179、1479、 1480、1559、1579、2179、M10M、M100 と互換性があります。 MKS 247 用の信号ケーブルは、この Web サイトで入手できます。この MKS 247 の仕様については、「ダウンロード」を参照してください。

P6102862.sldprt (P6102862.sldprt, 565 Kb) [ダウンロード]

P6102862.step (P6102862.step, 1,136 Kb) [ダウンロード]

247D-Manual.pdf (247D-Manual.pdf, 371 Kb) [ダウンロード]

MKS_246_247_PowerSupply.pdf (MKS_246_247_PowerSupply.pdf, 122 Kb) [ダウンロード]

179C-DS.pdf (179C-DS.pdf, 231 Kb) [ダウンロード]

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