MKS 1179C 质量流量电子绝对压力控制器,50 sccm N2 当量,15 针,Swagelok 4 VCR。PN:1179C00151CR1BV

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MKS 1179C 质量流量电子绝对压力控制器,50 sccm N2 当量,15 针,Swagelok 4 VCR。
MKS Instruments 零件编号:1179C00151CR1BV。
MKS 1179C 是一款全金属质量流量控制器,旨在测量各种应用中的气体流量。输入和输出连接为 Swagelok® 4 VCR® MKS 1179C 质量流量控制器的满量程为 10 sccm 至 20 slm,可提供快速、可重复的流量计量,低至 0.1 sccm。1179C 是当今市场上最常见的质量流量计的直接替代产品。标准的 3 英寸占位面积使 1179C 可以直接放入同一空间,而无需修改现有的气体管线。电连接器是相同的“D”型连接器,具有与行业同类产品类似的引脚排列、信号和功能。1179C 与 MKS 或其他制造商的质量流量控制器电源和显示电子设备兼容。

Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司

179C-DS.pdf (179C-DS.pdf, 231 Kb) [下载]

246C-Manual.pdf (246C-Manual.pdf, 428 Kb) [下载]

247D-Manual.pdf (247D-Manual.pdf, 371 Kb) [下载]

MKS_246_247_PowerSupply.pdf (MKS_246_247_PowerSupply.pdf, 122 Kb) [下载]

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