MKS 1179C 질량 유량 전자 절대 압력 컨트롤러, 50 sccm N2 등가, 15핀, Swagelok 4 VCR. PN: 1179C00151CR1BV
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MKS Instruments 부품 번호: 1179C00151CR1BV.
MKS 1179C는 다양한 응용 분야에서 가스 유량을 측정하도록 설계된 전 금속 질량 유량 컨트롤러입니다. 입력 및 출력 연결은 Swagelok® 4 VCR®입니다. MKS 1179C 질량 유량 컨트롤러는 10sccm에서 20slm까지의 전체 스케일로 제공되어 0.1sccm만큼 낮은 유량까지 빠르고 반복 가능한 유량 측정을 제공합니다. 1179C는 오늘날 시장에서 가장 일반적인 질량 유량계를 대체하는 직접 폼-핏-기능입니다. 표준 3인치 풋프린트를 통해 1179C는 기존 가스 라인을 수정하지 않고도 동일한 공간에 직접 설치할 수 있습니다. 전기 커넥터는 동일한 유형 "D" 커넥터이며, 업계 대응 제품과 유사한 핀아웃, 신호 및 기능을 제공합니다. 1179C는 MKS 또는 다른 제조업체의 질량 유량 컨트롤러 전원 공급 장치 및 디스플레이 전자 장치와 호환됩니다.
Swagelok, VCR-TM Swagelok Company
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