MKS 1179C マスフロー電子絶対圧力コントローラー、50 sccm N2 相当、15 ピン、Swagelok 4 VCR。PN: 1179C00151CR1BV

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MKS 1179C マスフロー電子絶対圧力コントローラー、50 sccm N2 相当、15 ピン、Swagelok 4 VCR。
MKS Instruments 部品番号: 1179C00151CR1BV。
MKS 1179C は、さまざまなアプリケーションでガスの流量を測定するために設計されたオールメタル マスフロー コントローラーです。入力および出力接続は Swagelok® 4 VCR® です。MKS 1179C マスフローコントローラーは、10 sccm から 20 slm のフルスケールで利用でき、0.1 sccm という低さまで高速で繰り返し可能な流量計測を提供します。1179C は、現在市場で最も一般的なマスフローメーターの直接的なフォームフィット機能代替品です。標準の 3 インチのフットプリントにより、1179C は既存のガスラインを変更することなく同じスペースに直接設置できます。電気コネクタは、業界の同等品と同じタイプ「D」コネクタで、ピン配列、信号、および機能が似ています。1179C は、MKS または他のメーカーのマスフローコントローラー電源およびディスプレイ電子機器と互換性があります。

Swagelok、VCR-TM Swagelok Company

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246C-Manual.pdf (246C-Manual.pdf, 428 Kb) [ダウンロード]

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