CTI Cryo-Torr 400/500 크라이오펌프용 마이너 유지관리 키트

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CTI Cryo-Torr 400/500 Cryopump용 사소한 유지 관리 키트
유지 관리 키트만

이것은 CTI Cryo-Torr CT-400/500 Cryo-pump를 수리하는 데 필요한 O-링과 부품이 들어 있는 사소한 유지 관리 키트입니다.

CTI-Cryogenics Cryo-Torr CT-400/500 펌프는 Cryo-Torr 펌핑 시스템을 구성하는 두 가지 주요 구성 요소 중 하나입니다. 두 번째 구성 요소는 압축기(이 웹사이트에서도 판매)입니다. Cryo-Torr CT-400/500 크라이오펌프는 10-3~10-9 Torr 범위의 모든 가스를 빠르고 깨끗하게 펌핑합니다. 표준 적용 분야로는 반도체, 항공우주 및 진공 코팅과 R&D가 있습니다. 크라이오펌프는 가스를 응축하여 매우 낮은 증기압으로 유지하여 고속과 처리량을 달성할 수 있다는 원리에 따라 작동합니다. Cryo-Torr CT-400/500 펌프는 최소한의 서비스가 필요한 매우 안정적이고 견고한 장치입니다. 크라이오펌프는 움직이는 부품, 작동 유체 또는 백업 펌프를 진공에 노출시키지 않으므로 크라이오펌프 자체에서 시스템 또는 공정이 오염될 가능성이 없습니다. Cryo-Torr CT-400/500은 SC 헬륨 압축기 및 8200, 8600, 9000 헬륨 압축기와 함께 작동합니다. 설명, 설치, 재생 및 유지 관리 절차는 Cryo Torr 펌프 설치, 작동 및 유지 관리 지침 .pdf에 완전히 포함되어 있으며 아래에서 다운로드할 수 있습니다.

Cryo-Pumps_Install_1.pdf (Cryo-Pumps_Install_1.pdf, 941 Kb) [다운로드]

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