MBraun 热蒸发器、MB Evap S/A、薄膜共沉积系统、不锈钢钟罩室、13 x 17 英寸、4 个热源和 2 个 Inficon QCM 厚度监测器，配备全新 Pfeiffer HiPace 300 涡轮泵，翻新
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这款翻新的 Mbraun Evap S/A 真空镀膜室（2012 年制造）配备全新 HiPace 300 涡轮泵和全新 Edwards 12 旋转粗加工泵。该工具处于良好的工作状态。室内部已喷砂处理，以清除之前使用过程中可能存在的所有污染物。该工具适用于高熔点金属和电介质（如金、钛和氧化物）的热蒸发。它有一个直径为 13 英寸 x 高为 17 英寸的不锈钢钟罩室。最大蒸发投射距离为 10 英寸（带基片支架旋转），无基片旋转组件时可增加到 12 英寸，适用于剥离式金属沉积。基片支架在沉积过程中旋转时可容纳最大 4 英寸 x 4 英寸的样品，无旋转时可容纳 6 英寸 x 6 英寸的样品。该室有 4 个热蒸发源，每个的装载容量约为 1 cc。
这款 MBraun 热蒸发器配备了许多功能，包括一个新的定制 4 英寸旋转基片支架。它安装了 2 个 Inficon QCM 传感器和两个新的石英晶体，以及一个具有手动和自动处理模式的 Inficon SQC-310C 共沉积控制器。沉积过程可以是连续的，也可以是共沉积的。其他功能包括用于观察涂层进度的 6 英寸观察口、气动源和基材挡板、故障安全机制、光学安全幕、视觉和音频状态指示器（以警报形式）。
这款 MBraun 蒸发器于 2012 年制造，具有以下功能和能力：这款 MBraun 热蒸发器配备了许多功能，包括一个新的定制 4 英寸旋转基片支架。它安装了 2 个 Inficon QCM 传感器和两个新的石英晶体，以及一个具有手动和自动处理模式的 Inficon SQC-310C 共沉积控制器。沉积过程可以是连续的，也可以是共沉积的。其他功能包括用于观察涂层进度的 6 英寸观察口、气动源和基材挡板、故障安全机制、光学安全幕、视觉和音频状态指示器（以警报形式）。
- 不锈钢钟罩室（直径 13 英寸 x 高 17 英寸）
- 工具尺寸为 48 英寸长 x 32 英寸宽 x 80 英寸高
- 4 英寸旋转基材支架（不包括 24VDC 电源）
- 4 个电阻加热袋
- 10 英寸蒸发投射距离
- 电动钟罩室提升机
- 2 个 QCM 薄膜厚度传感器和一个 SQC-310C 共沉积控制器Inficon
- 气动源和基片挡板
- 6 英寸观察口
- 触摸屏 GUI 屏幕
- Pfeiffer HiPace 300 涡轮泵
- 可选视在舟功率测量和显示（不包括）
- 可选舟温度热电偶和读数（不包括万用表）
- 故障安全机制、沉积速率、电源、门、真空安全联锁
- 视觉和音频运行状态指示器
- 供电系统 - 3 x 208V AC，60Hz（3Ph/N/PE）
- 总负载 - 16A
- 4 个舟电源 - 2kW，30 - 1800°C 舟温度
- 基准压力 5x10-7 Torr，Pfeiffer 冷阴极真空压力表可能需要更换
- 最大工作压力 - 用户设置，5x10-3 Torr
- 基片材料、形状和尺寸 - 最大 4 英寸的硅晶片
- 基片旋转速度 - 用户设置
- 蒸发舟/棒尺寸 - 1 - 4 英寸长，1cc 负载容量
- 100 个配方存储，大多数金属膜沉积配方已安装
- 手动和自动操作模式
- 舟材料 - 任意，钨、钼、钽、坩埚
- 1 年有限保修
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