MBraun 열 증발기, MB Evap S/A, 박막 공증착 시스템, 스테인리스 스틸 벨자 챔버, 13 x 17인치, 4개의 열 소스 및 2개의 Inficon QCM 두께 모니터, 새로운 Pfeiffer HiPace 300 터보 펌프, 재생품
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이 재생품 Mbraun Evap S/A 진공 코팅 챔버(2012년 제조)에는 새로운 HiPace 300 터보 펌프와 새로운 Edwards 12 회전 러핑 펌프가 장착되어 있습니다. 이 도구는 작동 상태가 매우 좋습니다. 챔버 내부는 이전 사용으로 인한 모든 오염 물질을 제거하기 위해 그릿 블라스팅되었습니다. 이 도구는 금, 티타늄, 산화물과 같은 고융점 금속 및 유전체의 열 증발에 적합합니다. 직경 13인치 x 높이 17인치의 스테인리스 스틸 벨자 챔버가 있습니다. 기판 홀더 회전 시 최대 증발 투사 거리는 10인치이며, 기판 회전 어셈블리 없이 12인치까지 늘릴 수 있어 리프트오프 금속 증착에 적합합니다. 기판 홀더는 증착 중 회전 시 최대 4인치 x 4인치 샘플 크기를 취할 수 있고, 회전 없이 6인치 x 6인치 샘플을 취할 수 있습니다. 챔버에는 각각 약 1cc의 적재 용량을 가진 4개의 열 증발 소스가 있습니다.
이 MBraun 열 증발기에는 새로운 맞춤형 4인치 회전 기판 홀더를 포함한 많은 기능이 장착되어 있습니다. 2개의 Inficon QCM 센서와 2개의 새로운 석영 크리스털이 설치되어 있으며, 수동 및 자동 프로세스 모드가 있는 Inficon SQC-310C 공증착 컨트롤러가 있습니다. 증착 프로세스는 순차적이거나 공증착될 수 있습니다. 다른 기능으로는 코팅 진행 상황을 관찰할 수 있는 6인치 뷰포트, 공압 소스 및 기판 셔터, 고장 안전 메커니즘, 광학 안전 커튼, 알람 형태의 시각 및 청각 상태 표시기가 있습니다.
이 MBraun 증발기는 2012년에 제조되었으며 다음과 같은 특징과 성능을 갖추고 있습니다.이 MBraun 열 증발기에는 새로운 맞춤형 4인치 회전 기판 홀더를 포함한 많은 기능이 장착되어 있습니다. 2개의 Inficon QCM 센서와 2개의 새로운 석영 크리스털이 설치되어 있으며, 수동 및 자동 프로세스 모드가 있는 Inficon SQC-310C 공증착 컨트롤러가 있습니다. 증착 프로세스는 순차적이거나 공증착될 수 있습니다. 다른 기능으로는 코팅 진행 상황을 관찰할 수 있는 6인치 뷰포트, 공압 소스 및 기판 셔터, 고장 안전 메커니즘, 광학 안전 커튼, 알람 형태의 시각 및 청각 상태 표시기가 있습니다.
- 스테인리스 스틸 벨자 챔버(직경 13인치 x 높이 17인치)
- 도구 치수는 길이 48인치 x 너비 32인치 x 높이 80인치입니다.
- 4인치 회전 기판 홀더(24VDC 전원 공급 장치는 포함되지 않음)
- 저항 가열 포켓 4개
- 증발 투사 거리 10인치
- 모터화된 벨자 챔버 호이스트
- 2개의 QCM 필름 두께 센서와 SQC-310C 공동 증착 컨트롤러 Inficon
- 공압 소스 및 기판 셔터
- 6" 뷰포트
- 터치스크린 GUI 화면
- Pfeiffer HiPace 300 터보 펌프
- 선택 사항인 겉보기 보트 전력 측정 및 디스플레이(포함되지 않음)
- 선택 사항인 보트 온도 열전대 및 판독(멀티미터는 포함되지 않음)
- 고장 안전 메커니즘, 증착 속도, 전력, 도어, 진공 안전 인터록
- 시각적 및 청각적 실행 상태 표시기
- 전기 공급 시스템 - 3 x 208V AC, 60Hz(3Ph/N/PE)
- 총 부하 - 16A
- 4개 보트 전원 - 2kW, 30 - 1800°C 보트 온도
- 기본 압력 5x10-7 Torr, Pfeiffer 냉음극 진공 게이지를 교체해야 할 수도 있습니다.
- 최대 작동 압력 - 사용자 설정, 5x10-3 Torr
- 기판 소재, 모양 및 크기 - 최대 4인치 Si 웨이퍼
- 기판 회전 속도 - 사용자 설정
- 증발 보트/막대 크기 - 길이 1 - 4인치, 1cc 적재 용량
- 100개 레시피 저장, 대부분 금속 필름 증착 레시피 이미 설치됨
- 수동 및 자동 작동 모드
- 보트 소재 - 모두, W, Moly, Ta, 도가니
- 1년 제한 보증
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