MBraun サーマルエバポレーター、MB Evap S/A、薄膜共蒸着システム、ステンレススチールベルジャーチャンバー、13 x 17 インチ、4 つの熱源と 2 つの Inficon QCM 厚さモニター、新しい Pfeiffer HiPace 300 ターボポンプ付き、再生品
Delivery
Payment options
Our advantages
- — 12 months warranty
- — SMS notification
- — Return and exchange
- — Different payment methods
- — Best price
割引率 41%
この再生品 Mbraun Evap S/A 真空コーティング チャンバー (2012 年製造) には、新品の HiPace 300 ターボ ポンプと新品の Edwards 12 ロータリー粗引きポンプが装備されています。このツールは良好な作動状態です。チャンバーの内部は、以前の使用による汚染物質をすべて除去するためにグリット ブラストされています。このツールは、金、チタン、酸化物などの高融点金属や誘電体の熱蒸発に適しています。直径 13 インチ x 高さ 17 インチのステンレス鋼ベルジャー チャンバーを備えています。最大蒸発距離は基板ホルダーの回転で 10 インチ、基板回転アセンブリなしで 12 インチまで伸ばすことができ、リフトオフ金属堆積に適しています。基板ホルダーは、堆積中に回転すると最大 4 インチ x 4 インチのサンプル サイズ、回転しない場合は 6 インチ x 6 インチのサンプルを収容できます。チャンバーには、それぞれ約 1 cc の積載容量を持つ 4 つの熱蒸発源があります。
この MBraun 熱蒸発器には、新しいカスタムメイドの 4 インチ回転基板ホルダーなど、多くの機能が搭載されています。2 つの Inficon QCM センサーと 2 つの新しい水晶振動子、手動および自動プロセス モードを備えた Inficon SQC-310C 共堆積コントローラーが搭載されています。堆積プロセスは、順次堆積または共堆積にすることができます。その他の機能には、コーティングの進行状況を観察するための 6 インチ ビューポート、空気圧ソースと基板シャッター、フェイルセーフ機構、光学安全カーテン、フォーム アラームの視覚的および音声的ステータス インジケーターなどがあります。
この MBraun 蒸発器は 2012 年に製造され、次の機能と性能を備えています:この MBraun 熱蒸発器には、新しいカスタムメイドの 4 インチ回転基板ホルダーなど、多くの機能が搭載されています。2 つの Inficon QCM センサーと 2 つの新しい水晶振動子、手動および自動プロセス モードを備えた Inficon SQC-310C 共堆積コントローラーが搭載されています。堆積プロセスは、順次堆積または共堆積にすることができます。その他の機能には、コーティングの進行状況を観察するための 6 インチ ビューポート、空気圧ソースと基板シャッター、フェイルセーフ機構、光学安全カーテン、フォーム アラームの視覚的および音声的ステータス インジケーターなどがあります。
- ステンレス鋼ベルジャー チャンバー (直径 13 インチ x 高さ 17 インチ)
- ツールの寸法は、長さ 48 インチ x 幅 32 インチ x 高さ 80 インチです
- 4 インチ ロータリー基板ホルダー (24VDC 電源は付属していません)
- 抵抗加熱ポケット 4 個
- 蒸発距離 10 インチ
- 電動ベルジャー チャンバー ホイスト
- QCM フィルム厚さセンサー 2 個と SQC-310C Inficon のコーデポジション コントローラ
- 空気圧ソースおよび基板シャッター
- 6 インチ ビューポート
- タッチ スクリーン GUI 画面
- Pfeiffer HiPace 300 ターボ ポンプ
- オプションの見かけのボート電力測定および表示 (付属していません)
- オプションのボート温度熱電対および読み出し (マルチメータは付属していません)
- フェイルセーフ メカニズム、デポジション速度、電力、ドア、真空安全インターロック
- 視覚および音声による実行ステータス インジケーター
- 電源システム - 3 x 208V AC、60Hz (3Ph/N/PE)
- 総負荷 - 16A
- 4 つのボート電源 - 2kW、ボート温度 30 - 1800°C
- ベース圧力 5x10-7 Torr 、Pfeiffer 冷陰極真空計の交換が必要になる場合があります
- 最大動作圧力 - ユーザー設定、5x10-3 Torr
- 基板の材質、形状、サイズ - 最大 4 インチの Si ウェーハ
- 基板の回転速度 - ユーザー設定
- 蒸発ボート/ロッドのサイズ - 長さ 1 - 4 インチ、負荷容量 1cc
- 100 レシピの保存、ほとんどの金属膜堆積レシピがインストール済み
- 手動および自動操作モード
- ボートの材質 - 任意、W、モリブデン、タンタル、るつぼ
- 1 年間の限定保証
返信について通知するためサインインしてください
