Évaporateur thermique MBraun, MB Evap S/A, système de co-dépôt de couches minces, chambre à cloche en acier inoxydable, 13 x 17 pouces, 4 sources thermiques et 2 moniteurs d'épaisseur Inficon QCM avec nouvelle pompe turbo Pfeiffer HiPace 300, remis à neuf

Cette chambre de revêtement sous vide Mbraun Evap S/A remise à neuf (année de fabrication 2012) est équipée d'une toute nouvelle pompe turbo HiPace 300 et d'une toute nouvelle pompe d'ébauche rotative Edwards 12. L'outil est en excellent état de fonctionnement. L'intérieur de la chambre a été sablé pour éliminer tous les contaminants possibles provenant d'une utilisation précédente. L'outil est adapté à l'évaporation thermique des métaux à point de fusion élevé et des diélectriques comme l'or, le titane et les oxydes. Il dispose d'une chambre à cloche en acier inoxydable de 13" de diamètre x 17" de hauteur. La distance de projection d'évaporation maximale est de 10" avec rotation du support de substrat, elle peut être augmentée à 12" sans assemblage de rotation du substrat, adaptée au dépôt de métal par décollage. Le support de substrat peut prendre un maximum de tailles d'échantillon de 4" x 4" avec rotation pendant le dépôt ou des échantillons de 6" x 6" sans rotation. La chambre dispose de 4 sources d'évaporation thermique qui ont une capacité de chargement d'environ 1 cc chacune.

Cet évaporateur thermique MBraun est équipé de nombreuses fonctionnalités, notamment d'un nouveau support de substrat rotatif de 4 pouces fabriqué sur mesure. Il dispose de 2 capteurs Inficon QCM et de deux nouveaux cristaux de quartz installés, d'un contrôleur de co-dépôt Inficon SQC-310C avec modes de processus manuel et automatique. Le processus de dépôt peut être séquentiel ou codépôt. Les autres caractéristiques comprennent une fenêtre de visualisation de 6" pour observer la progression du revêtement, des obturateurs pneumatiques de source et de substrat, des mécanismes de sécurité intégrée, un rideau de sécurité optique, des indicateurs d'état visuels et sonores sous forme d'alarmes.