MBraun 熱蒸發器、MB Evap S/A、薄膜共沉積系統、不銹鋼鐘罩室、13 x 17 英吋、4 個熱源和 2 個 Inficon QCM 厚度監測儀，配有全新 Pfeiffer HiPace 300 渦輪泵，翻新
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MBraun 熱蒸發器 - MB Evap S/A，薄膜共沉積系統，不銹鋼鐘罩室 - 13 x 17 英寸，4 個熱源和 2 個 Inficon QCM 厚度監視器，配備全新 Pfeiffer HiPace 300 Turbo，翻新。
這個翻新的 Mbraun Evap S/A 真空鍍膜室（2012 年製造）配備了全新的 HiPace 300 渦輪泵和全新的 Edwards 12 旋轉低真空泵。該工具處於良好的工作狀態。腔室內部經過噴砂處理，以去除先前使用中可能產生的所有污染物。此工具適用於高熔點金屬和電介質（如金、鈦和氧化物）的熱蒸發。它有一個直徑為 13 英寸 x 高度為 17 英寸的不銹鋼鐘罩室。當基板支架旋轉時，最大蒸發投射距離為10英寸，在沒有基板旋轉組件的情況下可增加到12英寸，適合剝離金屬沉積。基材支架在沉積過程中旋轉時可容納多達 4" x 4" 的樣品尺寸，在不旋轉的情況下可容納 6" x 6" 的樣品。該室有 4 個熱蒸發源，每個熱蒸發源的負載容量約為 1 cc。
這款 MBraun 熱蒸發器配備了許多功能，包括新的客製化 4 吋旋轉基材支架。它安裝了 2 個 Inficon QCM 感測器、兩個新的石英晶體、一個具有手動和自動處理模式的 Inficon SQC-310C 共沉積控制器。沉積過程可以是順序沉積或共沉積。其他功能包括用於觀察塗層進度的 6 英寸視口、氣動源和基材百葉窗、故障安全機制、光學安全幕、形式警報中的視覺和音頻狀態指示器。
這款 MBraun 蒸發器於 2012 年製造，具有以下功能和功能：這款 MBraun 熱蒸發器配備了許多功能，包括新的客製化 4 吋旋轉基材支架。它安裝了 2 個 Inficon QCM 感測器、兩個新的石英晶體、一個具有手動和自動處理模式的 Inficon SQC-310C 共沉積控制器。沉積過程可以是順序沉積或共沉積。其他功能包括用於觀察塗層進度的 6 英寸視口、氣動源和基材百葉窗、故障安全機制、光學安全幕、形式警報中的視覺和音頻狀態指示器。
- 不鏽鋼鐘罩室（直徑 13 吋 x 高度 17 吋）
- 工具尺寸為 48 英吋長 x 32 英吋寬 x 80 英吋高
- 4吋旋轉基板支架（不含24VDC電源）
- 4 個電阻加熱袋
- 10 吋蒸發投射距離
- 電動鐘罩室提昇機
- 2 個來自 Inficon 的 QCM 薄膜厚度感測器和一個 SQC-310C 共沉積控制器
- 氣動源和基材擋板
- 6 吋視窗
- 觸控螢幕 GUI 螢幕
- 普發 HiPace 300 渦輪幫浦
- 可選的船視在功率測量和顯示（不包括在內）
- 選購的船形溫度熱電偶和讀數裝置（不包括萬用電錶）
- 故障安全機制、沉積速率、功率、閘、真空安全連鎖
- 視覺與音訊運作狀態指示器
- 供電系統 - 3 x 208V AC，60Hz（3Ph/N/PE）
- 總負載 - 16A
- 4 個船舶電源 - 2kW，船舶溫度 30 - 1800°C
- 基礎壓力 5x10-7 Torr，Pfeiffer 冷陰極真空計可能需要更換
- 最大工作壓力 - 使用者設置，5x10-3 Torr
- 基板材料、形狀和尺寸 - 最大 4 吋的矽晶圓
- 基材旋轉速度 - 使用者設定
- 蒸發船/棒尺寸 - 1 - 4 英吋長，1cc 負載能力
- 100個配方存儲，大部分金屬膜沉積配方已安裝
- 手動和自動操作模式
- 船材料 - 任何、W、Moly、Ta、坩堝
- 1 年有限保固
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