Leybold TurboVac SL300 パージベントバルブ、12 sccm、ユニット 115 VAC。部品番号 800152V0041
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Leybold TurboVac SL300 パージベントバルブ、12 sccm、ユニット 115 VAC。部品番号: 800152V0041
これらの Leybold SL300 パージおよびベントバルブは 12 sccm の流量で、バルブは直接接続することも、M8 – DN16KF アダプターを使用して接続することもできます。Leybold SL300 ターボポンプには、M8 閉鎖ネジで標準として遮断されたパージおよびベントガス接続が装備されています。
コントローラーの電源がオフになっている場合や停電中は、ベントバルブがポンプとフォアラインをベントし、オイル蒸気がラフポンプから逆拡散するのを防ぎます。ベントポートのチョークノズルにより、ポンプのベントが速すぎないようにします。
TURBOVAC SL ポンプは、空気やクリーンガスのポンプに適しています。低濃度の反応性ガスをポンプで送る必要がある場合は、ターボポンプをパージガスで操作します。ベントおよびパージガスには、窒素やアルゴンなどの不活性ガスをお勧めします。これらのガスの温度は 5° C ~ 80° C で、最大相対湿度は 10 ppm を超えないようにしてください。適切なバックアップポンプを選択するときは、追加のパージガス流量を考慮してください。窒素を使用したパージガス流量は 0.2 mbar·l/s (12 sccm) をお勧めします。ポンプ内の圧力は 1200 mbar (大気圧より 0.2 bar 高い) を超えてはなりません。
これらの新世代の SL TURBOVAC ターボ分子ポンプは、機械式ローターサスペンションが改良されており、新しいコンパクトな設計、改善された真空性能、標準化されたアクセサリ プログラムにより、複合ステージが優れています。SL シリーズ ポンプは、現在市場で最も静かなターボ ポンプの 1 つで、SL 300 ポンプは 49 dB(A) 未満です。ISO-100 入口フランジを備えた Leybold SL-300 は、窒素のポンピング速度が 270 l/s で、オイル シール ロータリー ベーン ポンプと組み合わせると、到達圧力が 7.5x10 Torr まで低下し、KF-16 粗引きフランジを備えています。
Leybold TURBOVAC SL ターボ分子ポンプは、コントローラの取り付け位置に関して非常に柔軟性が高く、オンボード、ベンチトップ ユニット、またはラック内に配置できます。さらに、ポンプは事実上あらゆる位置と角度に取り付けることができます。TURBOVAC SL 製品ファミリーのターボ分子ポンプは、研究や産業、その他多くの用途における最も高度で要求の厳しい用途と要件に対応できるように設計されています。
TURBOVAC SL ポンプは、空気やクリーンガスのポンプに適しています。低濃度の反応性ガスをポンプで送る必要がある場合は、ターボポンプをパージガスで操作します。ベントおよびパージガスには、窒素やアルゴンなどの不活性ガスをお勧めします。これらのガスの温度は 5° C ~ 80° C で、最大相対湿度は 10 ppm を超えないようにしてください。適切なバックアップポンプを選択するときは、追加のパージガス流量を考慮してください。窒素を使用したパージガス流量は 0.2 mbar·l/s (12 sccm) をお勧めします。ポンプ内の圧力は 1200 mbar (大気圧より 0.2 bar 高い) を超えてはなりません。
これらの新世代の SL TURBOVAC ターボ分子ポンプは、機械式ローターサスペンションが改良されており、新しいコンパクトな設計、改善された真空性能、標準化されたアクセサリ プログラムにより、複合ステージが優れています。SL シリーズ ポンプは、現在市場で最も静かなターボ ポンプの 1 つで、SL 300 ポンプは 49 dB(A) 未満です。ISO-100 入口フランジを備えた Leybold SL-300 は、窒素のポンピング速度が 270 l/s で、オイル シール ロータリー ベーン ポンプと組み合わせると、到達圧力が 7.5x10
Leybold TURBOVAC SL ターボ分子ポンプは、コントローラの取り付け位置に関して非常に柔軟性が高く、オンボード、ベンチトップ ユニット、またはラック内に配置できます。さらに、ポンプは事実上あらゆる位置と角度に取り付けることができます。TURBOVAC SL 製品ファミリーのターボ分子ポンプは、研究や産業、その他多くの用途における最も高度で要求の厳しい用途と要件に対応できるように設計されています。
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