Inficon Inc. 6Mhz 골드 크리스털 센서, 클린룸 디스펜서, 10/팩. 부품 번호 008-010-G10
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Inficon Inc. 부품 번호 008-010-G10.
INFICON 6MHz 크리스털은 모든 INFICON 컨트롤러 및 모니터와 함께 사용됩니다. 6MHz 크리스털은 금, 은 또는 합금 전극으로 제공되며 필요에 따라 다양한 패키지로 제공됩니다.
INFICON 클린룸 석영 크리스털 패키지를 사용하면 패키지에서 센서로 직접 크리스털을 편리하게 분배하여 작업자의 취급 및 오염 위험을 최소화할 수 있습니다. 크리스털 패키지를 클린룸에 더욱 친화적으로 만들기 위해 종이와 폼 인서트를 제거하고 패키지를 쌓아서 쉽게 보관할 수 있도록 만들었습니다.
INFICON 클린룸 석영 크리스털 패키지를 사용하면 패키지에서 센서로 직접 크리스털을 편리하게 분배하여 작업자의 취급 및 오염 위험을 최소화할 수 있습니다. 크리스털 패키지를 클린룸에 더욱 친화적으로 만들기 위해 종이와 폼 인서트를 제거하고 패키지를 쌓아서 쉽게 보관할 수 있도록 만들었습니다.
특징
- 주파수: 6MHz
- 직경: 14mm(0.550인치)
- 전면 풀 패드
- 더블 앵커 백 전극 패턴
- 금 - 일반적인 용도, 고열 부하, 낮은 필름 응력 증착(예: Au, Al, Ag)이 있는 공정에 권장
- 은 - 고열 부하, 고응력 필름(예: SiO2, Si3N4, W, Ta, Cr, Ni, AlN, TiN, ZnO, GaN, Mo, DLC)이 있는 공정에 권장
- 합금 - 광학/유전체 코팅 최적화(예: MgF2, SiO, TiO, HfO2 및 기타 고응력) 응용 프로그램
참고:
이러한 필름의 특정 응력 특성은 증착 방법(예: 스퍼터링, 화학 기상 증착 또는 원자층 증착) 및 처리 조건에 따라 달라질 수 있습니다. 박막 응력을 제어하고 이해하는 것은 이러한 재료를 통합하는 장치의 신뢰성과 성능을 보장하는 데 매우 중요합니다.
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