Inficon Inc. 6Mhz ゴールド クリスタル センサー、クリーンルーム ディスペンサー、10 個/パック。部品番号 008-010-G10
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Inficon Inc. 部品番号 008-010-G10。
INFICON 6 MHz クリスタルは、すべての INFICON コントローラーおよびモニターで使用されます。6 MHz クリスタルは、金、銀、または合金電極で提供され、ニーズに応じてさまざまなパッケージで提供されます。
INFICON クリーンルーム クォーツ クリスタル パッケージは、クリスタルをパッケージからセンサーに直接簡単にディスペンスできるため、オペレーターの取り扱いと汚染のリスクを最小限に抑えることができます。クリスタル パッケージをクリーンルームに適したものにするために、紙とフォームのインサートをなくし、パッケージを積み重ねて簡単に保管できるようにしました。
INFICON クリーンルーム クォーツ クリスタル パッケージは、クリスタルをパッケージからセンサーに直接簡単にディスペンスできるため、オペレーターの取り扱いと汚染のリスクを最小限に抑えることができます。クリスタル パッケージをクリーンルームに適したものにするために、紙とフォームのインサートをなくし、パッケージを積み重ねて簡単に保管できるようにしました。
特徴
- 周波数: 6 MHz
- 直径: 14 mm (0.550 インチ)
- フロント フル パッド
- ダブル アンカー バック電極パターン
- 金 - 一般的な用途、高熱負荷、低膜応力堆積のプロセスに推奨 (例: Au、Al、Ag)
- 銀 - 高熱負荷、高応力膜のプロセスに推奨 (例: SiO2、Si3N4、W、Ta、Cr、Ni、AlN、TiN、ZnO、GaN、Mo、DLC)
- 合金 - 光学/誘電コーティングの最適化 (例: MgF2、SiO、TiO、HfO2、その他の高応力)アプリケーション
注意:
これらのフィルムの特定の応力特性は、堆積方法 (スパッタリング、化学蒸着、原子層堆積など) と処理条件によって異なる場合があります。薄膜応力の制御と理解は、これらの材料を組み込んだデバイスの信頼性とパフォーマンスを確保する上で非常に重要です。
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