이상적인 진공 원형 마그네트론 스퍼터링 타겟, 탄탈륨 산화물- Ta

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Ideal Vacuum 원형 마그네트론 스퍼터링 타겟, 탄탈륨 산화물- Ta2O5 스퍼터링 타겟, 직경 3인치 x 두께 0.125인치, 순도 99.995%, OFHC 구리 백킹 플레이트에 금속 결합.
Ideal Vacuum Products, LLC.

이 제품은 직경 3인치 x 두께 0.125인치인 원형 마그네트론 탄탈륨 산화물- Ta2O5 스퍼터링 타겟입니다. 순도 99.995%이며 OFHC(산소 없는 고전도도) 구리 백킹 플레이트에 금속적으로 결합되어 있습니다.

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탄탈륨 산화물- Ta2 O5
탄탈륨 펜톡사이드
탄탈륨 펜톡사이드(Ta2O5)는 탄탈륨과 산소로 구성된 무기 화합물입니다. 높은 굴절률, 뛰어난 화학적 안정성 및 유전 특성으로 알려진 흰색 결정질 분말입니다. Ta2O5는 고유한 특성 조합으로 인해 광학 및 전자 응용 분야에서 광범위하게 사용됩니다.

탄탈륨 펜톡사이드(Ta2O5)는 뛰어난 광학적, 전자적 및 유전적 특성으로 인해 박막 코팅에 널리 사용됩니다. 다재다능하고 안정적이고 고품질의 필름을 형성하는 능력으로 인해 다양한 고성능 응용 분야에 이상적입니다.

1. 고굴절률 코팅: Ta2O5는 렌즈, 미러 및 필터용 다층 광학 코팅에 사용됩니다. 고굴절률은 정밀한 반사 방지 및 고반사 코팅을 만드는 데 도움이 됩니다.
2. 반사 방지 코팅: 낮은 굴절률 재료와 함께 사용하여 렌즈 및 디스플레이에서 광 투과율을 높이기 위한 반사 방지 코팅을 생성합니다.
3. 배리어 층: 다층 구조에서 산화 및 부식에 대한 보호 층으로 사용됩니다.
4. 전기 광학 및 광자 장치:.

탄탈륨 펜톡사이드의 높은 굴절률(550nm에서 ~2.1~2.2), 유전 강도, 화학적 안정성의 고유한 조합은 광학, 전자 및 광자학을 위한 박막 코팅에서 없어서는 안 될 소재로, 고성능 장치 및 시스템 개발을 가능하게 합니다.

증착 방법:
Ta2O5 박막은 RF 스퍼터링, 반응성 스퍼터링(탄탈륨 및 산소 가스 사용), 전자빔 증발을 사용하여 증착할 수 있습니다. 또한 마이크로 전자공학에서 정밀하고 적합한 코팅을 위해 원자층 증착(ALD)을 사용하여 증착합니다.





참고:
금속 또는 엘라스토머 백킹 플레이트 본딩은 모든 유전체 타겟 재료에 권장됩니다. 이러한 재료는 취성 및 낮은 열 전도도와 같이 스퍼터링에 적합하지 않은 특성을 가지고 있기 때문입니다. 이러한 타겟은 열 전도도가 낮아 열 충격에 가장 취약하므로 시작 및 종료 단계에서 특정 전력 램프 업 및 램프 다운 절차가 필요할 수 있습니다.
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