理想真空圆形磁控溅射靶,氧化钽- Ta

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Ideal Vacuum 圆形磁控溅射靶,氧化钽- Ta2O5 溅射靶,直径 3'' x 厚度 0.125",纯度 99.995%,金属粘合到 OFHC 铜背板上。
Ideal Vacuum Products, LLC。

本产品为圆形磁控氧化钽- Ta2O5 溅射靶,直径 3'' x 厚度 0.125"。它的纯度为 99.995%,并与 OFHC(无氧高导电性)铜背板进行金属粘合。

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氧化钽 - Ta2 O5
五氧化二钽
五氧化二钽 (Ta2O5) 是一种由钽和氧组成的无机化合物。它是一种白色结晶粉末,以其高折射率、优异的化学稳定性和介电性能而闻名。Ta2O5 因其独特的性能组合而被广泛用于光学和电子应用。

五氧化二钽 (Ta2O5) 因其出色的光学、电子和介电性能而被广泛用于薄膜涂层。其多功能性和形成稳定、高质量薄膜的能力使其成为各种高性能应用的理想选择:

1. 高折射率涂层:Ta2O5 用于镜头、镜子和滤光片的多层光学涂层。其高折射率有助于形成精确的防反射和高反射涂层。
2. 防反射涂层:与低折射率材料结合使用,可生产防反射涂层,以增强镜头和显示器的透光率。
3. 阻挡层:用作多层结构中防止氧化和腐蚀的保护层。
4. 电光和光子器件:

五氧化二钽独特的高折射率(550 nm 时约为 2.1 至 2.2)、介电强度和化学稳定性使其成为光学、电子和光子薄膜涂层中不可或缺的材料,有助于开发高性能设备和系统。

沉积方法:
Ta2O5 薄膜可以使用射频溅射、反应溅射(使用钽和氧气)和电子束蒸发沉积。 它还可以使用原子层沉积 (ALD) 沉积,用于微电子中的精确保形涂层。





注意事项:
建议对所有介电靶材使用金属或弹性体背板粘合,因为这些材料具有不适合溅射的特性,例如脆性和低导热性。由于这些目标的热导率低,它们最容易受到热冲击,因此在启动和关闭步骤中可能需要特定的功率上升和下降程序。
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