適用於 CTI Cryo-Torr 7 和 100 低溫幫浦的氦側維修套件
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這是 CTI Cryo-Torr 7 或 100 低溫幫浦氦側維修套件。
CTI-Cryogenics Cryo-Torr 7 或 100 幫浦是兩種幫浦之一
構成 Cryo-Torr 泵浦系統的主要組件。這
第二個組件是壓縮機(也在該網站上出售)。
Cryo-Torr CTI 7 或 100 低溫幫浦可為 10-3 至 10-9 Torr 範圍內的所有氣體提供快速、清潔的泵送。標準應用包括半導體、航空航天和航空航天真空鍍膜以及研發。低溫泵的工作原理是氣體可以冷凝並保持在極低的蒸氣壓下,從而實現高速度和吞吐量。 Cryo-Torr 7 或 100 幫浦是一款高度可靠且堅固耐用的裝置,只需最少的維護。由於低溫泵沒有將任何移動部件、工作流體或前級泵暴露在真空中,因此消除了低溫泵本身造成系統或製程污染的可能性。
說明、安裝、再生和維護程序完全包含在 Cryo Torr 幫浦安裝、操作和維護說明 .pdf 中,可供下載到旁邊。
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