CTI Cryo-Torr 7 및 100 Cryopump용 헬륨 사이드 수리 키트
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이것은 CTI Cryo-Torr 7 또는 100 Cryopump 헬륨 측면 수리 키트입니다.
CTI-Cryogenics Cryo-Torr 7 또는 100 펌프는 Cryo-Torr 펌핑 시스템을 구성하는 두 가지
주요 구성 요소 중 하나입니다.
두 번째 구성 요소는 압축기(이 웹사이트에서도 판매)입니다.
Cryo-Torr CTI 7 또는 100 Cryopump는 10-3~10-9 Torr 범위의 모든 가스를 빠르고 깨끗하게 펌핑합니다. 표준 응용 분야로는 반도체, 항공우주 및 진공 코팅과 R&D가 있습니다. 크라이오 펌프는 가스가 응축되어 매우 낮은 증기압으로 유지될 수 있다는 원리에 따라 작동하여 높은 속도와 처리량을 달성합니다. Cryo-Torr 7 또는 100 펌프는 최소한의 정비만 필요한 매우 신뢰성 있고 견고한 장치입니다. 크라이오 펌프는 움직이는 부품, 작동 유체 또는 백업 펌프를 진공에 노출시키지 않으므로 크라이오 펌프 자체에서 시스템 또는 프로세스가 오염될 가능성이 없습니다.
설명, 설치, 재생 및 유지 관리 절차는 Cryo Torr 펌프 설치, 작동 및 유지 관리 지침 .pdf에 완전히 포함되어 있어 옆에 다운로드할 수 있습니다.
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