MKS 148J オールメタル フロー コントロール バルブ、500 sccm、4 VCR M Swagelok チューブ フィッティング、Viton シール、PN: 148JA52CR1M
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MKS 部品番号: 148JA52CR1M
制御電流が供給されると、この汎用改良ソレノイド バルブはガスの流量を調整します。MKS コントローラーと適切なフロー センサーと併用すると、248D バルブは正確で精密な圧力または流量を維持しながらガスの流量を調整します。用途には、フロー制御、上流または下流の圧力制御が含まれます。このモデル 0248D-02000SV バルブは、2000 標準立方センチメートル/分 (sccm) の窒素フルスケール範囲、Swagelok® 1/4 インチ チューブ フィッティング、および Viton シールを備えています。バルブが閉じた状態での漏れコンダクタンスは、He で <1x10-5 scc/sec です。
Swagelok-TM Swagelok Company
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