Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 분자 진공 펌프, ISO-200K 입구 플랜지, 펌핑 속도 950 L/S, PN: 9698931
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냉각 키트 필요, Agilent Varian 부품 번호 9698931.
이 Agilent Varian Turbo-V 1001 터보 분자 고진공 펌프는 ISO-200K 입구 플랜지, 1x10-8 Torr의 궁극 압력(흡입 ISO 센터링 링의 고무 O-링 씰에서 가스 방출로 제한됨)을 갖추고 있으며 Agilent Varian 부품 번호는 9698931입니다. 모든 금속 밀봉 conflat 흡기 개스킷이 있는 Conflat 버전은 올바르게 사용하면 궁극 압력이 1x10-10 Torr로 낮은 진정한 초고진공 펌프입니다. Turbo-V 1001 터보 펌프는 최소 비용과 크기로 성능을 극대화하며 질소(N2)를 950 l/s의 펌핑 속도로 공급합니다. 모든 펌핑 프로필에서 Turbo V 1001을 작동시키는 데 사용할 수 있는 14 CFM(예: IDP-15 건식 스크롤 또는 DS402 회전 베인 진공 펌프)만큼 작은 기본 펌프 크기를 권장합니다. Turbo-V 1001은 가벼운 가스에 대한 고압축 비율을 달성하고 펌프의 처리량을 극대화하기 위해 MacroTorr 드래그 스테이지 기술을 포함하는 복합 펌프입니다.
정의에 따르면 Turbo-V 1001의 Navigator 버전은 터보 펌프 컨트롤러가 터보 펌프 아래에 로컬로 장착되어 있으며 Navigator 컨트롤러 부품 번호는 9698978입니다. 그러나 Turbo-V 1001이 랙 마운트 컨트롤러로 구동되는 경우 Navigator라고 하지 않고 단순히 Turbo V 1001 터보 펌프라고 합니다. 랙 마운트 컨트롤러는 Agilent 부품 번호 X3501-64003입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigators(아래 펌프 장착 컨트롤러 포함)는 종종 전자 현미경(SEM, TEM), 집속 이온 빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 많은 분석 계측기 애플리케이션에 통합됩니다. SEM, TEM 및 FIB와 같은 최신 집속 빔 시스템은 자세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자 또는 이온을 투사하는 컬럼을 사용합니다. 이러한 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 터보 펌프는 대형 샘플 챔버의 빠르고 오일 없는 공기 배출을 제공하기 때문에 최신 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소입니다(오일 없는 작동은 반도체 제조와 같은 많은 최신 분석 애플리케이션의 핵심 요구 사항입니다).
Agilent Varian Turbo-V 1001 기능:
Agilent Varian Turbo-V 1001 사양:
정의에 따르면 Turbo-V 1001의 Navigator 버전은 터보 펌프 컨트롤러가 터보 펌프 아래에 로컬로 장착되어 있으며 Navigator 컨트롤러 부품 번호는 9698978입니다. 그러나 Turbo-V 1001이 랙 마운트 컨트롤러로 구동되는 경우 Navigator라고 하지 않고 단순히 Turbo V 1001 터보 펌프라고 합니다. 랙 마운트 컨트롤러는 Agilent 부품 번호 X3501-64003입니다. Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigators(아래 펌프 장착 컨트롤러 포함)는 종종 전자 현미경(SEM, TEM), 집속 이온 빔 시스템(FIB) 및 표면 분석을 포함한 많은 분석 계측기 애플리케이션에 통합됩니다. SEM, TEM 및 FIB와 같은 최신 집속 빔 시스템은 자세한 분석을 위해 미세한 샘플에 전자 또는 이온을 투사하는 컬럼을 사용합니다. 이러한 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator 터보 펌프는 대형 샘플 챔버의 빠르고 오일 없는 공기 배출을 제공하기 때문에 최신 집속 빔 시스템의 핵심 구성 요소입니다(오일 없는 작동은 반도체 제조와 같은 많은 최신 분석 애플리케이션의 핵심 요구 사항입니다).
Agilent Varian Turbo-V 1001 기능:
- 낮은 기본 압력에서 작동이 가능한 가벼운 가스에 대한 높은 압축 비율
- 깨끗한 진공 시스템을 위한 탄화수소 없음
- 원격 컨트롤러로 100m 떨어진 곳에서 작동 가능
- 모든 위치에 설치 가능하여 간편한 통합 가능
- 유지 관리가 필요 없는 베어링으로 운영 비용 없음
- 이동 중에도 펌프 작동을 위한 Vacuum Link 앱을 통한 무선 제어 가능
- 방사선 및 자기장 방지 설계
- 내장된 전자 장치가 없어 까다로운 자기장 및 방사선 환경에서 작동 가능
- 낮은 전자기 방출로 애플리케이션 프로세스에 방해가 되지 않음
- 시스템에 미치는 영향이 없는 낮은 진동 및 소음 수준
Agilent Varian Turbo-V 1001 사양:
- 주변 작동 온도: +5 ~ +35 °C
- 주변 보관 온도: -20 ~ +70 °C
- 기본 압력: 1x10-8 Torr(ISO O-링 씰에 의해 제한됨)
- 압축 비율 H2: 1 x 10^6
- 플랜지 유형: Conflat CF 10인치
- 포라인 플랜지 크기: KF 40 NW
- 최대 가스 처리량 - Ar, 수냉: 7.5 mbar L/s; 444 sccm
- 최대 가스 처리량 - N2, 수냉: 10 mbar L/s; 592 sccm
- 소음 수준: 45 dB(A)
- 공칭 회전 속도: 38 KRPM
- 작동 위치: 임의
- 펌핑 속도 - H2: 900 L/s(ISO-200 입구 플랜지)
- 펌핑 속도 - He: 870 L/s(ISO-200 입구 플랜지)
- 펌핑 속도 - N2: 950 L/s(ISO-200 입구 플랜지)
- 권장 포어펌프 용량: 15 m³/h
- 시동 시간: < 4분
- 무게: 21.2 kg
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