Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子真空ポンプ、ISO-200K インレットフランジ、排気速度 950 L/S、PN: 9698931
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冷却キットが必要です。Agilent Varian 部品番号 9698931。
これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 ターボ分子高真空ポンプには、ISO-200K 入口フランジ、1x10-8 Torr の到達圧力 (これは、吸入 ISO センタリング リングのゴム製 O リング シールからのガス放出によって制限されます)、Agilent Varian 部品番号 9698931 があります。すべて金属シールの Conflat 吸入ガスケットを備えた Conflat バージョンは、正しく使用した場合の到達圧力が 1x10-10 Torr まで低下する真の超高真空ポンプです。Turbo-V 1001 ターボ ポンプは、最小のコストとサイズで最大のパフォーマンスを発揮し、窒素 (N2) の排気速度は 950 l/s です。 14 CFM 程度の小型のプライマリ ポンプ サイズ (IDP-15 ドライ スクロール ポンプまたは DS402 ロータリー ベーン真空ポンプなど) を推奨します。このサイズは、Turbo V 1001 をあらゆるポンピング プロファイルで動作させるために使用できます。Turbo-V 1001 は、MacroTorr ドラッグ ステージ テクノロジーを採用した複合ポンプで、軽質ガスの高圧縮比を実現し、ポンプのスループットを最大化します。
定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンには、ターボ ポンプの下にローカルに取り付けられたターボ ポンプ コントローラがあり、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラック マウント コントローラによって電源供給される場合、Navigator とは呼ばれず、単に Turbo V 1001 ターボ ポンプと呼ばれます。ラック マウント コントローラの Agilent 部品番号は X3501-64003 です。 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator (ポンプの下にコントローラを搭載) は、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビーム システム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されることが多く、SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビーム システムでは、詳細な分析のために電子またはイオンを顕微鏡サンプルに投影するカラムが使用されています。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボ ポンプは、大型サンプル チャンバーの高速でオイルフリーの空気排出を可能にするため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントです (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。
Agilent Varian Turbo-V 1001 の特徴:
Agilent Varian Turbo-V 1001 仕様:
定義上、Turbo-V 1001 の Navigator バージョンには、ターボ ポンプの下にローカルに取り付けられたターボ ポンプ コントローラがあり、Navigator コントローラの部品番号は 9698978 です。ただし、Turbo-V 1001 がラック マウント コントローラによって電源供給される場合、Navigator とは呼ばれず、単に Turbo V 1001 ターボ ポンプと呼ばれます。ラック マウント コントローラの Agilent 部品番号は X3501-64003 です。 Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator (ポンプの下にコントローラを搭載) は、電子顕微鏡 (SEM、TEM)、集束イオンビーム システム (FIB)、表面分析など、多くの分析機器アプリケーションに統合されることが多く、SEM、TEM、FIB などの最新の集束ビーム システムでは、詳細な分析のために電子またはイオンを顕微鏡サンプルに投影するカラムが使用されています。これらの Agilent Varian Turbo-V 1001 Navigator ターボ ポンプは、大型サンプル チャンバーの高速でオイルフリーの空気排出を可能にするため、最新の集束ビーム システムの重要なコンポーネントです (オイルフリー操作は、半導体製造などの多くの最新の分析アプリケーションの重要な要件です)。
Agilent Varian Turbo-V 1001 の特徴:
- 軽質ガス用の高圧縮比により、低いベース圧力での操作が可能
- 炭化水素を含まないため、クリーンな真空システムを実現
- リモート コントローラーにより、100 m 離れた場所からの操作が可能
- 任意の位置に取り付けることができるため、簡単に統合できます
- メンテナンス不要のベアリングにより、運用コストがゼロ
- Vacuum Link アプリによるワイヤレス制御に対応し、外出先でもポンプを操作できます
- 耐放射線および耐磁場設計
- 電子機器が組み込まれていないため、厳しい磁場および放射線環境でも操作できます
- 電磁放射が低いため、アプリケーション プロセスに干渉しません
- 振動および騒音レベルが低いため、システムへの影響がゼロ
Agilent Varian Turbo-V 1001 仕様:
- 動作周囲温度: +5 ～ +35 °C
- 保管周囲温度: -20 ～ +70 °C
- ベース圧力: 1x10-8 Torr (ISO O リング シールにより制限)
- 圧縮比 H2: 1 x 10^6
- フランジ タイプ: Conflat CF 10 インチ
- フォアライン フランジ サイズ: KF 40 NW
- 最大ガス スループット - Ar、水冷: 7.5 mbar L/s、444 sccm
- 最大ガス スループット - N2、水冷: 10 mbar L/s、 592 sccm
- 騒音レベル: 45 dB(A)
- 公称回転速度: 38 KRPM
- 動作位置: 任意
- ポンピング速度 - H2: 900 L/s (ISO-200 入口フランジ)
- ポンピング速度 - He: 870 L/s (ISO-200 入口フランジ)
- ポンピング速度 - N2: 950 L/s (ISO-200 入口フランジ)
- 推奨フォアポンプ容量: 15 m³/h
- 起動時間: 4 分未満
- 重量: 21.2 kg
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