Agilent Varian IDP-7 ドライスクロール真空ポンプ、単相、100～240 VAC、入口遮断バルブ付き。PN: X3807-64010

Agilent Varian IDP-7 ドライ スクロール真空ポンプは、極めて静かな 55 dBA 未満と低振動動作を実現するように設計されており、60 Hz で 5.4 cfm (9.1 m3/h) のピーク ポンピング速度を実現し、20 mTorr の到達圧力を生み出します。これらの新しい Agilent IDP-7 ドライ スクロール ポンプは密閉されており、ヘリウム再循環、真空オーブン、およびバッキング ポンプ アプリケーションに適しています。密閉設計により、ポンプを通るクリーンなガス経路が提供され、オイルやグリースによる汚染のリスクがなくなり、モーターとベアリングが大気圧で動作して、真空プロセスガスや水蒸気にさらされるのを防ぎます。Agilent IDP-07 は、50/60Hz で 100 ～ 120V または 200 ～ 230 VAC の間で簡単に切り替えられる動作電圧範囲のグローバル単相モーターをサポートします。

この IDP-7 モデル (Agilent Technologies 部品番号 X3807-64010) には、IDP-7 の電源が失われた場合にスクロール ポンプの入口を通した空気の逆流を防ぐ統合入口遮断バルブが含まれています。この遮断バルブは、システムの電源が失われたときに顧客のチャンバーまたは機器が突然排気されるのを防ぎます。この遮断バルブはポンプ モジュールに組み込まれているため、ポンプ本体の高さは増加しません。IDP-7 の両モデルのサイズは同じです。

ターボ分子ポンプなどの高真空ポンプは、ドライ バッキング ポンプ技術と組み合わせて使用​​されることが増えています。スクロール技術に基づくポンプは、ターボ分子高真空ポンプのバッキングに最適なドライ ポンプ技術となっています。これらの Agilent Varian IDP-7 スクロール技術が優れたドライ ポンプの選択肢となる要因はいくつかあります。クリーンで予測可能なパフォーマンス、低い振動とノイズ、長い耐用年数などです。

最新の Agilent IDP-7 スクロール技術は、スムーズな軌道動作に基づいています。ガスの圧縮と排出の真空ポンプ サイクルは、最小限の脈動と非常に低い振動で発生します。アプリケーションによっては、振動が悪影響を及ぼす可能性があり、振動アイソレータなどの追加コンポーネントの使用が必要になる場合があります。新しい Agilent IDP-7 は、過度の振動が許容されないさまざまなアプリケーションに最適なドライ ポンプです。

現在のスクロール ポンプ技術とチップ シール設計は、低いベース圧力と、耐用年数にわたってベース圧力が徐々に増加するように連携して機能する要素です。ベース圧力が徐々に増加するため、真空レベルが許容範囲外になる前にメンテナンスを行うことができ、予定外のダウンタイムを削減できます。Agilent IDP-7 などの一般的なスクロール ポンプは、20 mTorr のベース圧力を実現します。

これらの Agilent IDP-7 ドライ スクロール ポンプは、ネストされたスクロールの 1 つがもう 1 つのスクロールの周りを周回し、捕捉されたガスの移動ゾーンを作成するシンプルなデュアル スクロール メカニズムを使用して真空を生成します。ガスはスクロール セットの外周から入り、ハブの中心に向かって移動および圧縮され、そこで排出されます。シンプルなデュアル スクロール設計には、ノイズと振動のレベルが低い、メンテナンス要件がシンプルで頻度が低い、壊滅的な故障モードがなくなるなど、多くの利点があります。

この新しい Agilent Technologies IDP-7 には、チップシールの寿命とサービス間隔を延ばすために、改良されたソリッドチップシールが搭載されています。ソリッドチップシールの素材は、凝縮性蒸気の用途で優れた性能を発揮します。IDP-7 のチップシールの交換は、これまで以上に簡単になりました。チップシールキット (X3807-67000) に加えて、摩耗したチップシールを交換するために必要なのは、マイナスドライバー、4 mm および 5 mm の六角レンチ、イソプロピルアルコール、糸くずの出ないワイプ数枚という、いくつかの簡単なツールだけです。チップシールの交換手順については、取扱説明書の 18 ～ 20 ページを参照してください。新しい Agilent IDP-7 密閉ドライスクロール真空ポンプの取扱説明書とパンフレットは、以下のダウンロードセクションから PDF 形式でダウンロードできます。