Edwards nXDS ドライ スクロール真空ポンプ チップ シール キット、マイナー リビルド サービス用、すべての nXDS シリーズ ポンプに適合、PN: A735-01-801
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Edwards 真空部品番号 PN: A735-01-801。
これらの Edwards nXDS シリーズ ドライ スクロール ポンプ チップ シール キットは、マイナー リビルド サービスが必要な場合に使用します。これは通常、ポンプの稼動開始から 2 年後に必要となり、多くの場合、12,000 ～ 16,000 時間の稼働時間で必要になります。チップ シールが摩耗すると、ポンプは最低到達圧力に達する能力を失い始めます。新しい nXDS ポンプのベース圧力は、漏れのないきれいな真空チャンバーを排気する場合、10 mTorr 以下で測定されることがよくあります。ベース圧力が 25 mTorr にしか達していないことに気付いた場合は、チップシールを交換する必要がある可能性があります。以下のダウンロード セクションにあるチップ シール交換マニュアルに記載されている手順を参照してください。
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプで動作します
すべての Edwards nXDs シリーズ ドライ スクロール真空ポンプで動作します
- Edwards nXDS6i
- Edwards nXDS10i
- Edwards nXDS15i
- Edwards nXDS20i
- Edwards nXDS6ic
- Edwards nXDS10ic
- Edwards nXDS15ic
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