安捷伦瓦里安涡轮分子真空泵，20 SCCM 1/4 Swagelok x M12，适用于大多数中型安捷伦涡轮分子真空泵，PN 9699242
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Agilent Varian 部件号 PN：9699242。
这些 Agilent Varian 涡轮分子真空泵具有固定的 20 SCCM 流速、1/4 Swagelok 气体供应接头，设计用于大多数具有 M12 排气口螺纹的中型涡轮分子真空泵。请参阅通风口的第二张和第三张照片以及安装动画，说明也显示在 TwisTorr 305 FS 手册第 247 页中。气体清除阀是一种保护装置，用于保护泵轴承免受可能进入泵的颗粒和腐蚀性气体的侵害。每个阀门都采用安装在筒内的薄校准蓝宝石孔口制成，以提供精确的小泄漏率，每根管侧都有两个特殊的 PTFE 膜。这是为了避免任何颗粒、粉末和任何液体进入和堵塞细孔。每种版本的阀门都适合特定的应用： - 当腐蚀性气体的分压最大为 10-5 mbar（分析仪器、离子注入机）时，用于轻度腐蚀操作的小泄漏（1000 mbar 时约 10 sccm）； - 腐蚀性气体的分压大于 10-5 mbar，对于重度腐蚀操作（蚀刻、CVD），泄漏量较大（1000 mbar 时泄漏量约为 20 sccm）。如果您希望使用不同的流量，可以更改供给压力。对于给定的供给压力，气体吹扫阀可以为您提供固定的流量值。请注意，流量不取决于阀门的真空侧压力。这些涡轮净化阀的 Agilent Varian 部件编号为 PN 969-9242。
适用于以下 Agilent Varian 涡轮泵：
适用于以下 Agilent Varian 涡轮泵：
- TwisTorr 74 FS
- TwisTorr 84 FS
- TwisTorr 305 FS
- TwisTorr 305-IC
- TwisTorr 404 FS
- TwisTorr 704 FS
- TwisTorr 804 FS
- Turbo-V 1001
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