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安捷倫瓦里安渦輪分子真空泵，20 SCCM 1/4 Swagelok x M12，適合大多數中型安捷倫渦輪分子真空泵，零件編號 9699242

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安捷倫瓦里安渦輪分子真空泵，20 SCCM 1/4 Swagelok x M12，適合大多數中型安捷倫渦輪分子真空泵。
安捷倫瓦里安零件號碼 PN：9699242。
這些安捷倫瓦里安渦輪吹掃閥具有固定的 20 SCCM 流速和 1/4 Swagelok 供氣接頭，設計用於與大多數具有 M12 排氣口螺紋的中型渦輪分子真空泵配合使用。請參閱排氣口的第二張和第三張照片以及顯示安裝的漫畫，第247 頁的TwisTorr 305 FS 手冊中也顯示了說明。顆粒和腐蝕性氣體的影響，這些顆粒和腐蝕性氣體可能會損壞幫浦的軸承。每個閥門均由安裝在濾芯中的薄校準藍寶石孔製成，以提供精確的小洩漏率，每個管側都有兩個特殊的 PTFE 膜。這是為了避免任何顆粒、粉末和任何液體進入並堵塞細孔。每個版本的閥門都適合特定的應用： - 當腐蝕性氣體的分壓最大為10-5 mbar 時，用於輕度腐蝕操作的小洩漏（1000 mbar 時約10 sccm）（分析儀器、離子注入機）； -當腐蝕性氣體的分壓＞10-5毫巴時，對於重腐蝕操作(蝕刻、CVD)的大洩漏(在1000毫巴下～20sccm)。如果您希望使用不同的流量，您可以變更供給壓力。對於給定的供應壓力，氣體吹掃閥可以為您提供固定的流量值。請注意，流量不取決於閥門的真空側壓力。這些渦輪吹掃閥的安捷倫瓦里安零件號碼為 PN 969-9242。 可與以下安捷倫瓦里安渦輪泵配合使用：
  • TwisTorr 74 FS
  • TwisTorr 84 FS
  • TwisTorr 305 FS
  • TwisTorr 305-IC
  • TwisTorr 404 FS
  • TwisTorr 704 FS
  • TwisTorr 804 FS
  • Turbo-V 1001

Agilent-Turbo-Purge-Valve-Installation.pdf (Agilent-Turbo-Purge-Valve-Installation.pdf, 340 Kb) [下載]

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AgilentRemoteCont_305FS.pdf (AgilentRemoteCont_305FS.pdf, 3,396 Kb) [下載]

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