Agilent Varian Turbo Purge Valve, 20 SCCM 1/4 Swagelok x M12, 대부분의 중형 Agilent Turbomolecular 진공 펌프에 적합, PN 9699242
Delivery
Payment options
Our advantages
- — 12 months warranty
- — SMS notification
- — Return and exchange
- — Different payment methods
- — Best price
Agilent Varian 부품 번호 PN: 9699242.
이 Agilent Varian 터보 퍼지 밸브는 고정된 20 SCCM 유량, 1/4 Swagelok 가스 공급 피팅을 갖추고 있으며 M12 배출구 나사산이 있는 대부분의 중형 터보 분자 진공 펌프와 함께 작동하도록 설계되었습니다. 환기구의 두 번째와 세 번째 사진과 설치를 보여주는 만화를 참조하세요. 지침은 TwisTorr 305 FS 설명서 247페이지에도 나와 있습니다. 가스 퍼지 밸브는 펌프 베어링을 펌프로 이동할 수 있는 입자 및 부식성 가스로부터 보호하는 보호 장치입니다. 모든 밸브는 카트리지에 장착된 얇은 교정 사파이어 오리피스로 제작되어 각 튜브 측면에 두 개의 특수 PTFE 멤브레인이 있는 정밀한 소량 누출률을 제공합니다. 이는 입자, 분말 및 액체가 들어와 얇은 구멍을 막는 것을 방지하기 위한 것입니다. 각 버전의 밸브는 특정 응용 분야에 적합합니다. - 부식성 가스의 분압이 최대 10-5mbar(분석 기기, 이온 이식 장치)일 때 경미한 부식성 작동을 위한 소량 누출(1000mbar에서 ~ 10sccm) - 부식성 가스의 분압이 >10-5 mbar일 때, 중부식성 작업(에칭, CVD)의 경우 큰 누출(1000 mbar에서 ~20 sccm). 다른 유량을 사용하려면 공급 압력을 변경해야 할 수 있습니다. 주어진 공급 압력에 대해 가스 퍼지 밸브는 고정된 유량 값을 제공할 수 있습니다. 유량은 밸브의 진공 측 압력에 따라 달라지지 않는다는 점에 유의하세요. 이 터보 퍼지 밸브는 Agilent Varian 부품 번호 PN 969-9242를 가지고 있습니다.
다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다:
다음 Agilent Varian 터보 펌프와 함께 작동합니다:
- TwisTorr 74 FS
- TwisTorr 84 FS
- TwisTorr 305 FS
- TwisTorr 305-IC
- TwisTorr 404 FS
- TwisTorr 704 FS
- TwisTorr 804 FS
- Turbo-V 1001
답장을 알려드릴 수 있도록 로그인하세요.
